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半導體設備隔振臺推薦廠家

來源: 發布時間:2020-09-25

傳感器位置

傳感器可以移動到任何期望的位置。 它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后連接時,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。


支撐面的剛性

支撐表面的剛性很重要。 水平傳感器無法區分在水平加速度和傾斜之間。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬,以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。 傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。


運作方式

設置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。 綠色LED將點亮。 紅色LED開始閃爍,這意味著存在一些振動。現在,您可以通過按啟用按鈕來啟用系統。 紅色LED不應點亮了。 如果它們點亮,則表示系統過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。


請注意,如果未啟用LFS,則它將無效。


敏感的傳感器單元,請勿撞擊,敲打或跌落!


LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz。半導體設備隔振臺推薦廠家

LFS

LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,并與標準AVI / LP系統結合使用在前饋環路中,以提高非常低頻率的振動隔離。LFS可以改裝為現有的AVI-LP系統。

LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設備的安全規定,并滿足EEC指令73/23的相關要求。系統符合EEC指令89/336(電磁兼容性)

每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器。 北京隔振臺推薦型號LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。

TS-150

TS-150結合了久經考驗的技術特點和優雅且用戶友好的設計

TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性

TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的**于載荷的自動高度調節機構即使在載荷發生重大變化后也能將頂板穩定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”


頻率:0,7-1000 Hz

負載范圍:0-150公斤

尺寸 :400 x 450 x 78.5 毫米


TS-150結合了久經考驗的技術***性和優雅且用戶友好的設計。TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多。

TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性。TS 150的出色性能包括所有六個平移和旋轉振動模式精確的**于載荷的自動高度調節機構即使在載荷發生重大變化后也能將頂板穩定在比較好工作水平。遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好,實用的操作優勢是創新建筑理念的結果。

TS-150的高度*為78.5毫米

TS-150的重量*為17.5千克

Table Stable生產的主動式微振動控制系統AVI是一款多功能的主動式防振系統,具有**的防振單元和控制器。

可能有多種變化,例如將其用作電子顯微鏡(SEM)的隔振臺,或與光學平臺結合使用的高性能光學實驗臺。


特點:

?通過主動控制沒有共振點,可以防止低頻范圍的振動。

?安裝時不需要參數調整,安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧,因此不需要空氣彈簧。

?振動狀態一目了然。

(可以目視觀察控制器的每個LED閃爍單元的振動狀態。)

-加速度信號可以從外部輸出。

(通過將BNC連接器連接到示波器,可以看到活動對象正在正常工作。 控制中心有超載指示燈。

    技術指標:頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米

隔離:動態(超過1kHz)

透射率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)

矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N

靜態合規性:大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N

比較大負載:140公斤尺寸:500x600x84毫米

重量:28.5kg

電的安全等級:1個能量消耗:比較大10W負載調整時20W輸入電壓:115-230VAC+/-10%50-60Hz

超載:顯示屏指示負載過重或嚴重失衡

監控信號:示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的

前面板顯示菜單:顯示儀器狀態,包括:-高度調節-隔離開/關-過載-運輸鎖定-技術熱線

桌上尺寸:500x600毫米。 實際測量的振動結果:AVI 主動隔振頻率范圍在 1.0Hz 到 200Hz之間。臺積電隔振臺價格怎么樣

必須改善測量環境,以發揮儀器的極大效能,達到比較好成果。半導體設備隔振臺推薦廠家

AVI主動隔震臺

AVI應用于掃描電鏡

1、如有可能,拆下掃描電鏡柱的側板。

2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木塊以增加高度。

3、拆下主銷后傾角和主銷后傾角螺栓(如有必要)。

4、將***個鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平儀確保盤子坐平。按下所有角落,確保其與地面齊平。如果不水平或不齊平,則使用墊片確保水平,并在各側均勻地放置在地面上。

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