致晟光電推出的多功能顯微系統，創新實現熱紅外與微光顯微鏡的集成設計，搭配靈活可選的制冷/非制冷模式，可根據您的實際需求定制專屬配置方案。這套設備的優勢在于一體化集成能力：只需一套系統，即可同時搭載可見光顯微鏡、熱紅外顯微鏡及InGaAs微光顯微鏡三大功能模塊。這種設計省去了多設備切換的繁瑣，更通過硬件協同優化提升了整體性能，讓您在同一平臺上輕松完成多波段觀測任務。相比單獨購置多套設備，該集成系統能大幅降低采購與維護成本，在保證檢測精度的同時，為實驗室節省空間與預算，真正實現性能與性價比的雙重提升。國產熱紅外顯微鏡憑借自主研發軟件，具備時域重構等功能，提升檢測效率。國產平替熱紅外顯微鏡

EMMI 技術基于半導體器件在工作時因電子 - 空穴復合產生的光子輻射現象，通過高靈敏度光學探測器捕捉微弱光子信號，能夠以皮安級電流精度定位漏電、短路等微觀缺陷。這種技術尤其適用于檢測芯片內部的柵極氧化層缺陷、金屬導線短路等肉眼難以察覺的故障，為工程師提供精確的失效位置與成因分析。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）則聚焦于器件發熱與功能異常的關聯，利用紅外熱成像技術實時呈現半導體器件的熱分布。在高集成度芯片中，局部過熱可能引發性能下降甚至損壞，熱紅外顯微鏡通過捕捉0.1℃級別的溫度差異，可快速鎖定因功率損耗、散熱不良或設計缺陷導致的熱失效隱患。兩者結合，實現了從電學故障到熱學異常的全維度失效診斷，極大提升了分析效率與準確性。 高分辨率熱紅外顯微鏡牌子量化 SiC、GaN 等寬禁帶半導體的襯底熱阻、結溫分布，優化散熱設計。

熱紅外顯微鏡與光學顯微鏡雖同屬微觀觀測工具，但在原理、功能與應用場景上存在明顯差異，尤其在失效分析等專業領域各有側重。

從工作原理看，光學顯微鏡利用可見光（400-760nm 波長）的反射或透射成像，通過放大樣品的物理形態（如結構、顏色、紋理）呈現細節，其主要是捕捉 “可見形態特征”；而熱紅外顯微鏡則聚焦 3-10μm 波長的紅外熱輻射，通過檢測樣品自身發射的熱量差異生成熱分布圖，本質是捕捉 “不可見的熱信號”。

在主要功能上，光學顯微鏡擅長觀察樣品的表面形貌、結構缺陷（如裂紋、變形），適合材料微觀結構分析、生物樣本觀察等；熱紅外顯微鏡則專注于微觀熱行為解析，能識別因電路缺陷、材料熱導差異等產生的溫度異常，即使是納米級的微小熱點（如半導體芯片的漏電區域）也能精確捕捉，這是光學顯微鏡無法實現的。

從適用場景來看，光學顯微鏡是通用型觀測工具，廣泛應用于基礎科研、教學等領域；而熱紅外顯微鏡更偏向專業細分場景，尤其在半導體失效分析中，可定位短路、虛焊等隱性缺陷引發的熱異常，在新材料研發中能分析不同組分的熱傳導特性，為解決 “熱相關問題” 提供關鍵依據。

熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)的突出優勢二：

與傳統接觸式檢測方法相比，熱紅外顯微鏡的非接觸式檢測優勢更勝——無需與被測設備直接物理接觸，從根本上規避了傳統檢測中因探針壓力、靜電放電等因素對設備造成的損傷風險，這對精密電子元件與高精度設備的檢測尤為關鍵。在接觸式檢測場景中，探針接觸產生的機械應力可能導致芯片焊點形變或線路微損傷，而靜電放電（ESD）更可能直接擊穿敏感半導體器件。

相比之下，熱紅外顯微鏡通過捕捉設備運行時的熱輻射信號實現非侵入式檢測，不僅能在設備正常工作狀態下獲取實時數據，更避免了因接觸干擾導致的檢測誤差，大幅提升了檢測過程的安全性與結果可靠性。這種非接觸式技術突破，為電子設備的故障診斷與性能評估提供了更優解。 在高低溫循環（-40℃~125℃）中監測車載功率模塊、傳感器的熱疲勞退化。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 圖像分析是通過探測物體自身發出的紅外輻射，將其轉化為可視化圖像，進而分析物體表面溫度分布等信息的技術。其原理是溫度高于零度的物體都會向外發射紅外光，熱紅外顯微鏡通過吸收這些紅外光，利用光電轉換將其變為溫度圖像。物體內電荷擾動會產生遠場輻射和近場輻射，近場輻射以倏逝波形式存在，強度隨遠離物體表面急劇衰退，通過掃描探針技術可散射近場倏逝波，從而獲取物體近場信息，實現超分辨紅外成像。在半導體制造中，通過逐點熱掃描篩選熱特性不一致的晶圓，提升良率。制造熱紅外顯微鏡內容

熱紅外顯微鏡對電子元件進行無損熱檢測，保障元件完整性 。國產平替熱紅外顯微鏡

熱紅外顯微鏡和紅外顯微鏡并非同一事物，二者是包含與被包含的關系。紅外顯微鏡是個廣義概念，涵蓋利用0.75-1000微米紅外光進行分析的設備，依波長分近、中、遠紅外等，通過樣品對紅外光的吸收、反射等特性分析化學成分，比如識別材料中的官能團，應用于材料科學、生物學等領域。而熱紅外顯微鏡是其分支，專注7-14微米的熱紅外波段，無需外部光源，直接探測樣品自身的熱輻射，依據黑體輻射定律生成溫度分布圖像，主要用于研究溫度分布與熱特性，像定位電子芯片的熱點、分析復合材料熱傳導均勻性等。前者側重成分分析，后者聚焦熱特性研究。國產平替熱紅外顯微鏡

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