致晟光電作為專注于微光顯微鏡與熱紅外顯微鏡應用的技術團隊,設備在微小目標定位、熱分布成像等場景中具備高分辨率優勢,可廣泛應用于芯片、PCB板、顯示屏等消費電子元器件的檢測環節,為您提供客觀的物理位置或熱分布定位數據。
為讓您更直觀了解設備的定位精度與適用性,我們誠摯邀請貴單位參與樣品測試合作:若您有需要進行微光定位(如細微結構位置標記、表面瑕疵定位)或熱紅外定位(如元器件發熱點分布、溫度梯度成像)的樣品,可郵寄至我方實驗室。我們將提供專業檢測服務,輸出包含圖像、坐標、數值等在內的定位數據報告(注:報告呈現客觀檢測結果,不做定性或定量結論判斷)。測試過程中,我們會根據您的需求調整檢測參數,確保定位數據貼合實際應用場景。若您對設備的定位效果認可,可進一步洽談設備采購或長期檢測服務合作。 紅外成像可以不破壞芯片封裝,嘗試定位未開封芯片失效點并區分其在封裝還是 Die 內部,利于評估芯片質量。制冷微光顯微鏡設備
考慮到部分客戶的特殊應用場景,我們還提供Thermal&EMMI的個性化定制服務。無論是設備的功能模塊調整、性能參數優化,還是外觀結構適配,我們都能根據您的具體需求進行專屬設計與研發。憑借高效的研發團隊和成熟的生產體系,定制項目通常在 2-3 個月內即可完成交付,在保證定制靈活性的同時,充分兼顧了交付效率,讓您的特殊需求得到及時且滿意的答案。致晟光電始終致力于為客戶提供更可靠、更貼心的服務,期待與您攜手共進,共創佳績。紅外光譜微光顯微鏡方案設計微光顯微鏡能檢測半導體器件微小缺陷和失效點,及時發現隱患,保障設備可靠運行、提升通信質量。
柵氧化層缺陷顯微鏡發光技術定位的失效問題中,薄氧化層擊穿現象尤為關鍵。然而,當多晶硅與阱的摻雜類型一致時,擊穿并不必然伴隨著空間電荷區的形成。關于其發光機制的解釋如下:當電流密度達到足夠高的水平時,會在失效區域產生的電壓降。該電壓降進而引起顯微鏡光譜區內的場加速載流子散射發光現象。值得注意的是,部分發光點表現出不穩定性,會在一段時間后消失。這一現象可歸因于局部電流密度的升高導致擊穿區域熔化,進而擴大了擊穿區域,使得電流密度降低。
得注意的是,兩種技術均支持對芯片進行正面檢測(從器件有源區一側觀測)與背面檢測(透過硅襯底觀測),可根據芯片結構、封裝形式靈活選擇檢測角度,確保在大范圍掃描中快速鎖定微小失效點(如微米級甚至納米級缺陷)。在實際失效分析流程中,PEM系統先通過EMMI與OBIRCH的協同掃描定位可疑區域,隨后結合去層處理(逐層去除芯片的金屬布線層、介質層等)、掃描電子顯微鏡(SEM)的高分辨率成像以及光學顯微鏡的細節觀察,進一步界定缺陷的物理形態(如金屬線腐蝕、氧化層剝落、晶體管柵極破損等),終追溯失效機理(如電遷移、熱載流子注入、工藝污染等)并完成根因分析。這種“定位-驗證-溯源”的完整閉環,使得PEM系統在半導體器件與集成電路的失效分析領域得到了關鍵的應用。我司微光顯微鏡能檢測內部缺陷,通過分析光子發射評估性能,為研發、生產和質量控制提供支持。
EMMI 微光顯微鏡作為集成電路失效分析的重要設備,其漏電定位功能對于失效分析工程師而言是不可或缺的工具。在集成電路領域,對芯片的可靠性有著極高的要求。在芯片運行過程中,微小漏電現象較為常見,且在特定條件下,這些微弱的漏電可能會被放大,導致芯片乃至整個控制系統的失效。因此,芯片微漏電現象在集成電路失效分析中占據著至關重要的地位。此外,考慮到大多數集成電路的工作電壓范圍在3.3V至20V之間,工作電流即便是微安或毫安級別的漏電流也足以表明芯片已經出現失效。因此,準確判斷漏流位置對于確定芯片失效的根本原因至關重要。 微光顯微鏡的自動瑕疵分類系統,可依據發光的強度、形狀等特征進行歸類,提高檢測報告的生成效率。顯微微光顯微鏡內容
我司自主研發的桌面級設備其緊湊的機身設計,可節省實驗室空間,適合在小型研發機構或生產線上靈活部署。制冷微光顯微鏡設備
在故障分析領域,微光顯微鏡(EmissionMicroscope,EMMI)是一種極具實用價值且效率出眾的分析工具。其功能是探測集成電路(IC)內部釋放的光子。在IC元件中,電子-空穴對(ElectronHolePairs,EHP)的復合過程會伴隨光子(Photon)的釋放。具體可舉例說明:當P-N結施加偏壓時,N區的電子會向P區擴散,同時P區的空穴也會向N區擴散,隨后這些擴散的載流子會與對應區域的載流子(即擴散至P區的電子與P區的空穴、擴散至N區的空穴與N區的電子)發生EHP復合,并在此過程中釋放光子。制冷微光顯微鏡設備