Polos光刻機在微機械加工中表現outstanding。其亞微米分辨率可制造80 μm直徑的開環諧振器和2 μm叉指電極,適用于傳感器與執行器開發。結合雙光子聚合技術(如Nanoscribe系統),用戶還能擴展至3D微納結構打印,為微型機器人及光學元件提供多尺度制造方案。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。Polos-BESM XL:加大加工幅面,滿足中尺寸器件一次性成型需求。廣東德國POLOS光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模
在微流體研究領域,德國 Polos 光刻機系列憑借獨特優勢脫穎而出。其無掩模激光光刻技術,打破傳統光刻的局限,無需掩模就能實現高精度圖案制作。這使得科研人員在構建微通道網絡時,可根據實驗需求自由設計,快速完成從圖紙到實體的轉化。?以藥物傳輸研究為例,利用 Polos 光刻機,能制造出尺寸precise、結構復雜的微通道,模擬人體環境,讓藥物在微小空間內可控流動,much提升藥物傳輸效率研究的準確性。同時,在細胞培養實驗中,該光刻機制作的微流體芯片,為細胞提供穩定且適宜的生長環境,助力細胞生物學研究取得新突破。小空間大作為的 Polos 光刻機,正推動微流體研究不斷向前。河北桌面無掩模光刻機光源波長405微米柔性電子:曲面 OLED 驅動電路漏電降 70%,彎曲半徑達 1mm,適配可穿戴設備。
德國 Polos 光刻機系列是電子學領域不可或缺的精密設備。其無掩模激光光刻技術,讓電路圖案曝光不再受限于掩模,能夠實現超高精度的圖案繪制。在芯片研發過程中,Polos 光刻機可precise刻畫出納米級別的電路結構,為芯片性能提升奠定基礎。? 科研團隊使用 Polos 光刻機,成功開發出更高效的集成電路,降低芯片能耗,提高運算速度。而且,該光刻機可輕松輸入任意圖案,滿足不同電子元件的多樣化設計需求。無論是新型傳感器的電路制作,還是微型處理器的研發,Polos 光刻機都能以高精度、低成本的優勢,為電子學領域的科研成果產出提供有力保障,推動電子技術不斷創新。
大尺寸晶圓的高效處理:Polos-BESM XL的優勢!Polos-BESM XL Mk2專為6英寸晶圓設計,寫入區域達155×155 mm,平臺重復性精度0.1 μm,滿足工業級需求。搭配20x/0.75 NA尼康物鏡和120 FPS高清攝像頭,實時觀測與多層對準功能使其成為光子晶體和柔性電子器件研究的理想工具。其BEAM Xplorer軟件簡化復雜圖案設計,內置高性能筆記本實現快速數據處理62。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。Polos-BESM 光刻機:無掩模激光技術,成本降低 50%,任意圖案輕松輸入,適配實驗室微納加工。
Polos-BESM在電子器件原型開發中展現高效性。例如,其軟件支持GDS文件直接導入,多層曝光疊加功能簡化了射頻器件(如IDC電容器)的制造流程。研究團隊利用同類設備成功制備了高頻電路元件,驗證了其在5G通信和物聯網硬件中的潛力。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。雙光子聚合擴展:結合Nanoscribe技術實現3D微納打印,拓展微型機器人制造。北京POLOSBEAM光刻機分辨率1.5微米
Polos-BESM XL:130mm×130mm 曝光幅面,STL 模型直接導入,微流控芯片制備周期縮短 40%。廣東德國POLOS光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模
Polos系列通過無掩模技術減少化學廢料產生,同時低能耗設計(如固態激光光源)符合綠色實驗室標準。例如,其光源系統較傳統DUV光刻機能耗降低30%,助力科研機構實現碳中和目標。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。廣東德國POLOS光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模