精密環(huán)控柜主要由設備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來，已為相關領域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務，獲得了眾多好評。采用先進的智能自控系統(tǒng)，根據監(jiān)測數據自動調節(jié)環(huán)境參數，符合溫濕度波動要求。陜西質譜儀環(huán)境
精密環(huán)控柜能夠實現(xiàn)如此性能，背后蘊含著先進而復雜的原理。在溫度控制方面，自主研發(fā)的高精密控溫技術是關鍵所在。通過高精度傳感器實時監(jiān)測柜內溫度，將數據反饋至控制系統(tǒng)。控制系統(tǒng)依據預設的精確溫度值，以 0.1% 的控制輸出精度，調節(jié)制冷（熱）系統(tǒng)的運行功率。例如，當溫度高于設定值時，制冷系統(tǒng)迅速啟動，精確控制制冷量，使溫度快速回落至目標范圍；反之，加熱系統(tǒng)則及時介入。對于濕度控制，利用先進的濕度調節(jié)裝置，通過冷凝除濕或蒸汽加濕等方式，依據傳感器反饋的濕度數據，將設備內部濕度穩(wěn)定性控制在 ±0.5%@8h 。在潔凈度控制上，采用多層高效潔凈過濾器，通過物理攔截、靜電吸附等原理，對進入柜內的空氣進行深度過濾，確保可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3 。浙江芯片光刻環(huán)境精密環(huán)控柜為光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見加工設備提供穩(wěn)定溫濕度、潔凈度、防噪音、抗微震條件。
在航天器電子元器件的制造和裝配過程中，精密環(huán)控柜的作用同樣關鍵。電子元器件對靜電、潔凈度以及溫濕度都十分敏感。靜電可能會擊穿電子元件，導致其損壞；而不合適的溫濕度條件會影響電子元件的性能和可靠性。精密環(huán)控柜通過配備高效的靜電消除裝置以及精確的溫濕度控制系統(tǒng)，為電子元器件的生產提供了一個穩(wěn)定、潔凈且無靜電干擾的環(huán)境。這不僅保證了電子元器件在制造過程中的質量，也提高了其在航天器復雜空間環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性，為我國航空航天事業(yè)的蓬勃發(fā)展奠定了堅實基礎。
數據實時記錄查詢功能為用戶帶來了極大的便利，提升了設備的使用體驗和管理效率。數據自動生成曲線，就如同設備運行的 “心電圖”，用戶通過曲線能直觀地看到設備運行過程中溫濕度、壓力等參數隨時間的變化情況，便于及時發(fā)現(xiàn)異常波動。數據自動保存，方便用戶進行后續(xù)的數據分析和處理。科研人員可以通過分析歷史數據，優(yōu)化實驗方案；生產人員能夠依據數據找出設備運行的參數，提高生產效率和產品質量。同時，運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件同步記錄，查詢一目了然。一旦設備出現(xiàn)故障，用戶能迅速從記錄中獲取故障發(fā)生的時間、類型等信息，為快速排查和解決故障提供有力支持。根據高精密行業(yè)用戶的反饋，對產品進行持續(xù)優(yōu)化，不斷提升設備的適用性和穩(wěn)定性。
刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料，從而雕琢出精細的電路結構。在這一精細操作過程中，溫度的波動都會如同“蝴蝶效應”般，干擾刻蝕速率的均勻性。當溫度不穩(wěn)定時，硅片不同部位在相同時間內所經歷的刻蝕程度將參差不齊，有的地方刻蝕過度，有的地方刻蝕不足，直接破壞芯片的電路完整性，嚴重影響芯片性能。濕度方面，一旦出現(xiàn)不穩(wěn)定狀況，刻蝕環(huán)境中的水汽會與刻蝕氣體發(fā)生復雜的化學反應，生成一些難以預料的雜質。這些雜質可能會附著在芯片表面，或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結構中，給芯片質量埋下深深的隱患，后續(xù)即便經過多道清洗工序，也難以徹底根除這些隱患帶來的負面影響。半導體芯片制造環(huán)節(jié)，憑借其超高潔凈度及極為微小的溫濕度波動，有效減少芯片瑕疵，提升產品良品率。陜西質譜儀環(huán)境
電子顯微鏡觀測時，設備營造的穩(wěn)定環(huán)境，確保成像清晰，助力科研突破。陜西質譜儀環(huán)境
超高水準潔凈度控制使精密環(huán)控柜在眾多領域發(fā)揮著無可替代的作用。該系統(tǒng)可輕松實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內部潔凈度可優(yōu)于 ISO class3 (設備工作區(qū)) 。這一特性得益于其先進的空氣過濾系統(tǒng)，多層高效過濾器能夠有效攔截空氣中的塵埃顆粒、微生物等污染物。在對潔凈度要求極高的半導體制造領域，微小的塵埃顆粒都可能導致芯片出現(xiàn)瑕疵，影響性能和良品率。精密環(huán)控柜提供的超潔凈環(huán)境，能極大降低塵埃對芯片制造過程的干擾，確保芯片的高質量生產。在生物制藥領域，藥品的生產過程必須保證無菌無塵，防止微生物污染。其超高的潔凈度控制能力，為藥品的研發(fā)和生產提供了符合標準的潔凈空間，保障了藥品的安全性和有效性。陜西質譜儀環(huán)境
