在半導體芯片制造這一復雜且精細的領域,從芯片光刻、蝕刻到沉積、封裝等每一步,都對環境條件有著近乎嚴苛的要求,而精密環控柜憑借其性能成為保障生產的關鍵要素。芯片光刻環節,光刻機對環境穩定性要求極高。哪怕 0.002℃的溫度波動,都可能使光刻機內部的精密光學元件因熱脹冷縮產生細微形變,導致光路偏差,使光刻圖案精度受損。精密環控柜憑借超高精度溫度控制,將溫度波動控制在極小范圍,確保光刻機高精度運行,讓芯片光刻圖案正常呈現。設備大小可定制,能匹配各種高精密設備型號,及操作空間要求,構建完整環境體系,保障高精密設備正常運行。上海芯片蝕刻溫濕度
設備運行靜音高效是精密環控柜的又一優勢。采用的 EC 風機,具備更高效、更強大、更安靜的運行特點。相比傳統風機,EC 風機能夠在提供充足風量的同時,有效降低能耗,提高能源利用效率。制冷單元內部采用高效隔音材質,進一步降低設備噪音,使其運行噪音小于 45dB 。噪音作為一種能量對于生產過程存在難以忽視的影響,極低的噪音恰恰能防止設備收到干擾,影響生產環境。高效的運行則保證了設備能夠快速、穩定地調節溫濕度和潔凈度,滿足各類精密實驗和生產的需求。重慶溫濕度車間精密環境控制設備依托自主研發的高精密控溫技術,實現了 0.1% 的超高輸出精度。
在生物醫療科研領域,許多實驗對環境條件的要求近乎嚴苛,精密環控柜因此成為不可或缺的重要設備。例如,在細胞培養實驗中,細胞的生長和繁殖對溫濕度極為敏感。適宜且穩定的溫度能確保細胞內酶的活性處于活躍狀態,若溫度波動超出允許范圍,酶的活性將受到抑制甚至失活,導致細胞代謝紊亂,生長停滯甚至死亡。濕度方面,合適的濕度可防止培養皿內水分過快蒸發,維持培養液的滲透壓穩定。若濕度過高,又容易滋生細菌和霉菌,污染細胞培養環境。精密環控柜憑借其精確的溫濕度控制能力,能為細胞培養提供穩定的環境,保障實驗結果的可靠性和重復性,助力生物醫療科研人員深入探索細胞奧秘,推動疾病醫療研究的進展。
我司憑借深厚的技術積累,自主研發出高精密控溫技術,精度高達 0.1% 的控制輸出。溫度波動值可實現±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環境控制。該系統潔凈度可實現百級、十級、一級。關鍵區域 ±5mK(靜態)的溫度穩定性,以及均勻性小于 16mK/m 的內部溫度規格,為諸如芯片研發這類對溫度極度敏感的項目,打造了近乎完美的溫場環境,保障實驗數據不受溫度干擾。同時,設備內部濕度穩定性可達±0.5%@8h,壓力穩定性可達+/-3Pa,長達 144h 的連續穩定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂。在潔凈度方面,實現百級以上潔凈度控制,工作區潔凈度優于 ISO class3,確保實驗結果的準確性與可靠性,也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。自面世以來,已為相關領域客戶提供了穩定的實驗室環境以及監測服務,獲得了眾多好評。
激光干涉儀用于測量微小位移,精度可達納米級別。溫度波動哪怕只有 1℃,由于儀器主體與測量目標所處環境溫度不一致,二者熱脹冷縮程度不同,會造成測量基線的微妙變化,導致測量位移結果出現偏差,在高精度機械加工零件的尺寸檢測中,這種偏差可能使零件被誤判為不合格品,增加生產成本。高濕度環境下,水汽會干擾激光的傳播路徑,使激光發生散射,降低干涉條紋的對比度,影響測量人員對條紋移動的精確判斷,進而無法準確獲取位移數據,給精密制造、航空航天等領域的科研與生產帶來極大困擾。根據高精密行業用戶的反饋,對產品進行持續優化,不斷提升設備的適用性和穩定性。重慶溫濕度車間
在芯片、半導體、精密加工、精密測量等領域,利用其精密溫濕度控制,保證生產環境的穩定。上海芯片蝕刻溫濕度
電子顯微鏡用于觀察微觀世界,其內部的電子束對環境要求極高。環境中的塵埃顆粒可能吸附在電子束路徑上的部件表面,影響成像質量。精密環控柜的超高水準潔凈度控制,將空氣中塵埃過濾干凈,為電子顯微鏡提供超潔凈空間。同時,其具備的抗微震功能,能有效隔絕外界震動干擾,確保電子顯微鏡穩定成像,讓科研人員清晰觀察微觀結構。對于光學顯微鏡,溫度和濕度變化會影響鏡片的光學性能。濕度不穩定可能導致鏡片表面產生水汽凝結,降低光線透過率。精密環控柜通過溫濕度控制,為光學顯微鏡提供穩定環境,保證其光學性能穩定,成像清晰。上海芯片蝕刻溫濕度