輪廓儀對精密加工的意義
現代化高新技術的飛速發展離不開硬件設施和軟件系統的配套支持，在精密加工領域同樣如此，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人**器件、航空航天材料、****設備等領域，都需要對加工的成品進行檢測，從物體表面光滑到粗糙的參數，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數，作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： 輪廓儀廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。ADE輪廓儀廠家
NanoX-8000輪廓儀的自動化系統主要配置 ：
? XY比較大行程650*650mm
? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸
? XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um，重復精度
1um
? XY 平臺比較大移動速度：200mm/s
? Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進
? 隔振系統：集成氣浮隔振 + 大理石基石
? 配置真空臺面
? 配置Barcode 掃描板邊二維碼，可自動識別產品信息
? 主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm
如果想要了解更加詳細的產品信息，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 襯底輪廓儀聯系電話輪廓儀可用于藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）。
輪廓儀的**團隊
夏勇博士，江蘇省雙創人才
15年ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發、項目管理經驗
SuperSight Inc. CEO/共同創始人，太陽能在線檢測設備
唐壽鴻博士，國家千人****
25年 ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發經驗
KLA-Tencor ***研發總監，***圖像處理、算法**
許衡博士，軟件系統研發
10 年硅谷世界500強研發經驗（BD Medical
Instrument）
光學測量、軟件系統
岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術支持，為您排憂解難。
NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數
3D測量主要技術指標（1）：
測量模式： PSI + VSI + CSI
Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配）
10mm 精密電機拓展掃描
CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配）
干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )
物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)
Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦
照明系統： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）
傾斜調節： ±5°電動調節
橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關）
3D測量主要技術指標（2）：
垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s
高度測量范圍： 0.1nm – 10mm
表面反射率： > 0.5%
測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
準確度 < 1nm
RMS重復性 < 0.01nm (1σ)
臺階高重復性：0.15nm(1σ)
VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm
準確度<1%
重復性<0.1% (1σ，10um臺階高) 晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。
表面三維輪廓儀對精密加工的作用：
一、從根源保障物件成品的準確性：
通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數，**提高物件在生產加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”，造成下游生產加工的更大偏離，**終導致整個生產鏈更大的損失。
二、提高效率：
智能化檢測，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺，然后在檢定軟件上選擇相關參數，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點，**提高加工效率。
三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數分析：
表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數，無論加工的物件使用哪一種評定標準，都可以提供***的檢測結果作為評定依據，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數。
四、穩定性強，高重復性：
儀器運用高性能內部抗震設計，不受外部環境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合，保證高重復性，將測量誤差降低到亞納米級別。 物鏡是輪廓儀****的部件， 物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求。白光干涉輪廓儀代理價格
在結構上，輪廓儀基本上都是臺式的，而粗糙度儀以手持式的居多，當然也有臺式的。ADE輪廓儀廠家
輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。（來自網絡）
先進的輪廓儀集成模塊
60年世界水平半導體檢測技術研發和產業化經驗
所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等
PI ，納米移動平臺及控制
Nikon，干涉物鏡
NI，信號控制板和Labview64
控制軟件
TMC 隔震平臺
世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺
VS2012/64位，.NET/C#/WPF
Intel Xeon 計算機
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岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司，是一家集研發、設計、生產和銷售為一體的專業化公司。岱美儀器技術服務作為磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】的企業之一，為客戶提供良好的磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念，影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術服務始終關注儀器儀表市場，以敏銳的市場洞察力，實現與客戶的成長共贏。