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EVG520 HE納米壓印推薦廠家

來源: 發布時間:2021-03-18

    其中包括家用電器、醫藥、電子、光學、生命科學、汽車和航空業。肖特在全球34個國家和地區設有生產基地和銷售辦事處。公司目前擁有員工超過15500名,2017/2018財年的銷售額為??偛课挥诘聡酪虼牡哪腹維CHOTTAG由卡爾蔡司基金會(CarlZeissFoundation)全資擁有。卡爾蔡司基金會是德國歷史**悠久的私立基金會之一,同時也是德國規模比較大的科學促進基金會之一。作為一家基金公司,肖特對其員工,社會和環境負有特殊責任。關于EV集團(EVG)EV集團(EVG)是為半導體、微機電系統(MEMS)、化合物半導體、功率器件和納米技術器件制造提供設備與工藝解決方案的**供應商。其主要產品包括:晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓印(NIL)與計量設備,以及涂膠機、清洗機和檢測系統。EV集團成立于1980年,可為遍及全球的眾多客戶和合作伙伴網絡提供各類服務與支持。SmartNIL,NILPhotonics及EVGroup標識是EVGroup的注冊商標,SCHOTTRealView?是SCHOTT的注冊商標。(來自網絡。HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案,可實現300 mm的大批量生產。EVG520 HE納米壓印推薦廠家

SmartNIL技術簡介

SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術,可提供功能強大的下一代光刻技術,幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,因此還可以實現****的吞吐量,并具有顯著的擁有成本的優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作功能。另外,主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當的時間。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。


襯底納米壓印樣機試用EVG系統是客戶進行大批量晶圓級鏡頭復制(制造)的***選擇。

HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統支持各種設備和應用程序的生產,包括用于增強/虛擬現實(AR / VR)頭戴式耳機的光學設備,3D傳感器,生物醫學設備,納米光子學和等離激元學。


HERCULES ® NIL特征:

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺,具有多達八個可交換過程模塊(壓印和預處理)

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區域烙印覆蓋

批量生產**小40 nm或更小的結構

支持各種結構尺寸和形狀,包括3D

適用于高地形(粗糙)表面

*分辨率取決于過程和模板


EVG ® 520 HE熱壓印系統

特色:經通用生產驗證的熱壓印系統,可滿足比較高要求

EVG520 HE半自動熱壓印系統設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經過生產驗證的系統可以接受直徑比較大為200 mm的基板,并且與標準的半導體制造技術兼容。熱壓印系統配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能,并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,提供了許多用于高質量圖案轉印和納米分辨率的工藝。


如果需要詳細的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 納米壓印是一種用于大規模制造微米級和納米級結構的低成本的技術,大批量替代光刻技術。

      **的衍射波導設計商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group(EVG)進行合作,EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設備的**供應商,以帶來高性能增強現實( AR)波導以當今業界*低的成本進入大眾市場。波導是可穿戴AR的關鍵光學組件。

      WaveOptics首席執行官David Hayes評論:“這一合作伙伴關系標志著增強現實行業的轉折點,是大規模生產高質量增強現實解決方案的關鍵步驟,這是迄今為止尚無法實現的能力?!?EVG的專業知識與我們可擴展的通用技術的結合將使到明年年底,AR終端用戶產品的市場價格將低于600美元。“這項合作是釋放AR可穿戴設備發展的關鍵;我們共同處于有利位置,可以在AR中引入大眾市場創新,以比以往更低的成本開辟了可擴展性的新途徑?!? EVG?770可用于連續重復的納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作。碳化硅納米壓印技術原理

EVG ? 7200 LA是大面積SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統。EVG520 HE納米壓印推薦廠家

UV納米壓印光刻系統

EVG®610/EVG®620NT /EVG®6200NT:具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統

■高精度對準臺

■自動楔形誤差補償機制

■電動和程序控制的曝光間隙

■支持***的UV-LED技術

■**小化系統占地面積和設施要求


EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA:自動化的全場納米壓印解決方案,適用于第3代基材

■體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度

■專有的SmartNIL®技術和多用途聚合物印章技術

■集成式壓印,UV固化,脫模和工作印模制作

■盒帶間自動處理以及半自動研發模式


■適用于所有市售壓印材料的開放平臺


EVG520 HE納米壓印推薦廠家

岱美儀器技術服務(上海)有限公司是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司,致力于發展為創新務實、誠實可信的企業。岱美儀器技術服務深耕行業多年,始終以客戶的需求為向導,為客戶提供***的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務不斷開拓創新,追求出色,以技術為先導,以產品為平臺,以應用為重點,以服務為保證,不斷為客戶創造更高價值,提供更優服務。岱美儀器技術服務創始人陳玲玲,始終關注客戶,創新科技,竭誠為客戶提供良好的服務。

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