如何正確使用輪廓儀

準備工作

1.測量前準備。

2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面。

測量

1.將測針正確、平穩、可靠地移動在工件被測表面上。

2.工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現

3.在儀器上設置所需的測量條件。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。

5.測量完畢，根據圖紙對結果進行分析，標出結果，并保存、打印。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數曲線

包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數，作為評定該物件是否合格的標準。浙江輪廓儀技術原理

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等）

幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區域的面積和集體，特征圖形的位置和數量等）

白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件，

物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦。 材料表面輪廓儀價格輪廓儀可用于Oled 特征結構測量，表面粗糙度，外延片表面缺 陷檢測，硅片外延表面缺 陷檢測。

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數

3D測量主要技術指標（1）：

測量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配）

10mm 精密電機拓展掃描

CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）

傾斜調節： ±5°電動調節

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關）

3D測量主要技術指標（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s

高度測量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準確度 < 1nm

RMS重復性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準確度<1%

重復性<0.1% (1σ，10um臺階高)

1.5. 系統培訓的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊；

    數據采集功能的講解：通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置；

    實際演示一一講解；

    如何做好備份和恢復備份資料；

    當場演示各種報表的操作并進行操作解說；

    數據庫文件應定時作備份，大變動時更應做好備份以防止系統重新安裝時造成資料數據庫的流失；

    在系統培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。

    備注：系統培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊，并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片，以方便顧客電話聯系咨詢。 通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數，**提高物件在生產加工時的精確度。

NanoX-系列產品PCB測量應用測試案例

測量種類

?

基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸

?

基板A Sold Mask粗糙度

?

基板A 綠油區域3D 形貌

?

基板A 綠油區域 Pad 粗糙度

?

基板A 綠油區域粗糙度

?

基板A 綠油區域 pad寬度

?

基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統主要性能

? 菜單式系統設置，一鍵式操作，自動數據存儲

? 一鍵式系統校準

? 支持連接MES系統，數據可導入SPC

? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

隔振系統：集成氣浮隔振 + 大理石基石。浙江輪廓儀技術原理

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。（來自網絡）

先進的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導體檢測技術研發和產業化經驗 

所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等 

PI ，納米移動平臺及控制

Nikon，干涉物鏡

NI，信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺

VS2012/64位，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機

浙江輪廓儀技術原理

岱美儀器技術服務（上海）有限公司主要經營范圍是儀器儀表，擁有一支專業技術團隊和良好的市場口碑。公司業務分為磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發等，目前不斷進行創新和服務改進，為客戶提供良好的產品和服務。公司從事儀器儀表多年，有著創新的設計、強大的技術，還有一批**的專業化的隊伍，確保為客戶提供良好的產品及服務。在社會各界的鼎力支持下，持續創新，不斷鑄造***服務體驗，為客戶成功提供堅實有力的支持。