輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉換成電信號,該電信號經放大和處理,再轉換成數字信號儲存在計算機系統的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網絡)
輪廓儀在集成電路的應用:
封**ump測量
視場:72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測位置:樣品局部
面減薄表面粗糙度分析
封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析:2D, 3D顯示;線粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…
器件多層結構臺階高 MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數分析
激光隱形切割工藝控制 世界***的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成,**地縮
短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題
在結構上,輪廓儀基本上都是臺式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當然也有臺式的。集成電路輪廓儀現場服務
1.5. 系統培訓的注意事項
如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊;
數據采集功能的講解:通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置;
實際演示一一講解;
如何做好備份和恢復備份資料;
當場演示各種報表的操作并進行操作解說;
數據庫文件應定時作備份,大變動時更應做好備份以防止系統重新安裝時造成資料數據庫的流失;
在系統培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。
備注:系統培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片,以方便顧客電話聯系咨詢。 輪廓儀輪廓儀用途物鏡是輪廓儀****的部件, 物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求。
輪廓儀的技術原理
被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉
移相法(PSI) 高度和干涉相位
f = (2p/l ) 2 h
形貌高度: < 120nm
精度: < 1nm
RMS重復性: 0.01nm
垂直掃描法
(VSI+CSI)
精度: ?/1000 干涉信號~光程差位置
形貌高度: nm-mm,
精度: >2nm
干涉測量技術:快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響
以下來自網絡:
輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。
filmOnline查film3D圖像並與其互動.請參考我們新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更易負擔***,表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現今比較高 分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。索取技術資料索取報價這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度,形狀和臺階高度的測量。在數秒內,您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。***!**的網路3D影像瀏覽/分析filmOnline可存儲、共享、查看與分析來自您的光學輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺式電腦,平板電腦或智能手機上都能查看和操作。享受***的圖像分析功能,包括表面輪廓(粗糙度)和階高 分析。其他輪廓儀列為選備的功能已經是我們的標準配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能?每film3D都已標配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標準片建立標準每film3D配備了一個10微米階高標準片,可達%準確度。另我們還提供具有100nm,2微米以及4微米等多階高標準片。輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測。
輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸,典型結果包括:
表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)
幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)
白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統,通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀。
因此物鏡是輪廓儀****的部件,
物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。
不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦。 傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節.氮化鎵輪廓儀可以試用嗎
幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)。集成電路輪廓儀現場服務
儀器儀表是用以檢出、測量、觀察、計算各種物理量、物質成分、物性參數等的器具或設備。真空檢漏儀、壓力表、測長儀、顯微鏡、乘法器等均屬于儀器儀表。近年來,得益于機械、冶金、石化行業等儀器儀表服務領域經營狀況的好轉,我國儀器儀表制造業發展一路向好。儀器儀表在工業生產過程中扮演著重要的角色,用到各種各樣的儀器儀表,如磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發等為工業的檢驗、測量和計量提供技術支撐。中國儀器儀表行業目前正處于高速發展階段,需要與之相適應的磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】產品營銷模式相互配合。儀器儀表在工業發展中具有重要作用,這也使得儀器儀表得到快讀發展。各行各業對儀器儀表的市場需求也在不斷提升,銷售企業正在發展中尋求技術創新和質量提升。儀器儀表的質量、性能關系到工業安全,必須重視。集成電路輪廓儀現場服務
岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型的公司。公司自成立以來,以質量為發展,讓匠心彌散在每個細節,公司旗下磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發深受客戶的喜愛。公司注重以質量為中心,以服務為理念,秉持誠信為本的理念,打造儀器儀表良好品牌。岱美儀器技術服務秉承“客戶為尊、服務為榮、創意為先、技術為實”的經營理念,全力打造公司的重點競爭力。