白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀
白光干涉3D顯微鏡：
干涉面成像，
多層垂直掃描
比較好高度測量精度：< 1nm
高度精度不受物鏡影響
性價比好
激光共聚焦3D顯微鏡：
點掃描合成面成像，
多層垂直掃描
Keyence（日本）
比較好高度測量精度：～10nm
高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍
90萬-130萬
三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復性高、高 分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫療工程、制藥、生物材料，光學元件、陶瓷和先進材料的研發和生產提供了一個精確的、價格合理的計量方案。（來自網絡） 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊。干涉儀輪廓儀競爭力怎么樣
輪廓的角度處理:
角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數曲線 。
白光輪廓儀的典型應用：
對各種產品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
重慶中芯國際輪廓儀NanoX-8000隔振系統：集成氣浮隔振 + 大理石基石。
隨著時代的發展，輪廓儀也越來重要了，不少的產品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對其進行采樣，并將其轉換為電信號。電信號被放大和處理，然后轉換成數字信號并存儲在計算機系統的存儲器中。計算機以數字方式過濾原始表格的輪廓，分離表面并計算粗糙度分量，測量結果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標，或放大的實際輪廓曲線。測量結果通過顯示器輸出，也可以由打印機輸出。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學元件等行業適用于研究機構、大學、計量機構和企業計量室。在汽車，摩托車和制冷行業，它可以測量活塞，活塞銷，齒輪的總線參數和汽車，摩托車和壓縮機的閥門柱塞，可以測量各種傾斜部件的參數。在軸承工業中，內護套環的密封槽的形狀（角度，倒角R，槽深，槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部，角度和對數曲線；電機軸，圓柱銷，活塞銷，滾針軸承，圓柱滾子軸承。
我們應該如何正確使用輪廓儀？
一、準備工作
1.測量前準備。
2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。
3.擦凈工件被測表面。
二、測量
1.將測針正確、平穩、可靠地移動在工件被測表面上。
2.工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現
3.在儀器上設置所需的測量條件。
4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。
5.測量完畢，根據圖紙對結果進行分析，標出結果，并保存、打印。
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等）。
輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。（來自網絡）
先進的輪廓儀集成模塊
60年世界水平半導體檢測技術研發和產業化經驗
所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等
PI ，納米移動平臺及控制
Nikon，干涉物鏡
NI，信號控制板和Labview64
控制軟件
TMC 隔震平臺
世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺
VS2012/64位，.NET/C#/WPF
Intel Xeon 計算機
NanoX-8000的VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm ；準確度<1% ；重復性<0.1% (1σ，10um臺階高)。材料表面輪廓儀保修期多久
NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um，重復精度 1um。干涉儀輪廓儀競爭力怎么樣
輪廓儀的功能:
廓測量儀能夠對各種工件輪廓進行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數測量。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。
白光輪廓儀的典型應用：
對各種產品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
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