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半導體設備隔振臺質保期多久

來源: 發布時間:2020-09-19

AVI600-S

AVI 600-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數量,可以輕松實現對更高負載的支持。為了使AVI

600-S適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI 600-S的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能

AVI 600-S系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性

AVI 600-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 600-S緊湊型設備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備(例如SEM)時進行任何復雜的操作。


技術指標:

頻率:  1.2-200 Hz

負載范圍:  0-1200公斤

(單個): 600公斤 傳感器LFS-3有一個單獨的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。半導體設備隔振臺質保期多久

TS-C

TS-C系列是緊湊的動態防振系統,可隔離所有六個平移和旋轉振動模式。

這些價格適中的動態振動隔離系統在體積上卻比比較大,**昂貴的無源系統更好地實現了隔離。使用壓電力馬達的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動,還可以隔離放置在系統本身上的振動源。例如,這意味著即使通過操作員的手施加了力,由系統隔離的精密顯微鏡也將保持靜止。


該系統的固有剛度比1Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩定性。

有源隔離系統的特性通常表現為幾乎沒有低頻共振,這種共振困擾著所有無源隔離系統。


該系統的設計即使在低至2-3

Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 原裝進口隔振臺輪廓測量應用Table Stable通過主動控制沒有共振點,可以防止低頻范圍的振動。

AVI 200-M

AVI 200-M的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能

AVI 200-M系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性

AVI 200-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現中比較復雜的過程

技術指標:

頻率: 1,2-200 Hz

負載范圍: 0-400公斤

(單個):  200公斤

如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。

AVI-600 / LP的每個單元均可調節,以適應0至600kg的負載。 對于任何設置由兩個單元組成的系統上的負載,可在+/- 90kg之間變化,而不必重設調整。


***操作系統時,請將前面板隔離開關設置為OFF(黑色旋出)。 接通電源。 電源指示燈現在將點亮,并且24個顯示LED將短暫閃爍。 黃色的使能LED將以大約2 Hz的頻率閃爍。 如果劇烈震動存在或如果您將手放在桌面上,則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后,您可以將隔離開關推到ON位置(紅色旋鈕進入)。黃色LED現在將長久保持亮起,表明系統處于隔離。






Table Stable生產的主動式微振動控制系統AVI是一款多功能的主動式防振系統,具有**的防振單元和控制器。

TS-140

TS-140結合了久經考驗的技術特點與優雅且對用戶友好的設計

這種中型動態隔振系統非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應用。

在公制(M6 x 25mm)或非公制網格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。


TS-140結合了久經考驗的技術特點與優雅且用戶友好的設計

TS-140的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性

TS 140的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的自動高度調節機制即使在負載發生重大變化后也能將頂板穩定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”

用戶友好,實用的操作優勢是創新建筑理念的結果

TS-140的高度*為84毫米

TS 140的重量*為28.5千克 主動防振臺通過電氣控制,向傳入振動瞬間施加反方向的力,從而消除振動。AVI-200XLP隔振臺技術支持

振動分析系統VA-2C是帶有遠程測量頭的系統,可輕松測量三個正交方向上的加速度,速度或位移。半導體設備隔振臺質保期多久

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應器

LFS-3性能

LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應器直接放到地板上和AVI系列產品連在組成一個正向循環可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產品。

LFS-3性能使用測振儀的V檔并有50公斤的重量下測試的。

LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。


AVI主動隔振系統幫助精密儀器在基礎研究、應用研究、生產等方面創造穩定的測量和生產環境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計、微檢測設備等提供極好的隔振效果。 半導體設備隔振臺質保期多久

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