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光刻機隔振臺有哪些品牌

來源: 發布時間:2021-12-28

    技術指標:頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米

隔離:動態(超過1kHz)

透射率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)

矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N

靜態合規性:大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N

比較大負載:140公斤尺寸:500x600x84毫米

重量:28.5kg

電的安全等級:1個能量消耗:比較大10W負載調整時20W輸入電壓:115-230VAC+/-10%50-60Hz

超載:顯示屏指示負載過重或嚴重失衡

監控信號:示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的

前面板顯示菜單:顯示儀器狀態,包括:-高度調節-隔離開/關-過載-運輸鎖定-技術熱線

桌上尺寸:500x600毫米。 Table Stable生產的主動式微振動控制系統AVI是一款多功能的主動式防振系統,具有**的防振單元和控制器。光刻機隔振臺有哪些品牌

水平X軸方向上的振動傳遞衰減,在承重時10hz的頻率以上時,比較大可以達到-40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。


水平Y軸方向上的振動傳遞衰減,在承重時10hz的頻率以上時,比較大可以達到-40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。

AVI系列產品在振動加速度上的隔振效果。

如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。或者訪問我們的官網。


高校隔振臺研發可以用嗎勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統,以便該系統可以在任何方向上用作振動器。

TS特點:

◎在全部的6個自由度范圍內,從0.7Hz到100Hz,TS系列產品提供優良的主動隔振性能。

◎當儀器裝載時,高度調整會自動進行。

◎即使當負載偏離中心時,自動調平功能也能保持水準。當高重心的儀器被加載時,給予穩定性。

◎通過按下前方的按鈕,系統可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統重新加載或傳輸中發生損壞。

◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實際振動水平。

◎主動隔振也可以通過使用可選的遠程控制箱來從外部啟用或禁用

地板上沒有AVI產品加速度的數據。(圖中橫坐標為頻率,縱坐標為加速度)

加上AVI產品開啟隔振功能后,加速度的數據。(圖中橫坐標為頻率,縱坐標為加速度)

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應器

LFS-3性能

LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應器直接放到地板上和AVI系列產品連在組成一個正向循環可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產品。

如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。謝謝! AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀等提供極好的隔振效果。

TS-140+40技術指標:

頻率                   負載范圍            尺寸

0,7-1000 Hz           50-180公斤    500 x

600 x 84毫米

隔離:

動態0.7Hz至1kHz無源(超過1kHz)

傳遞率:

參見附件曲線10 Hz以上的透射率<0.01(-40dB)

矯正力:垂直+/- 8 N     水平+/- 4 N

靜態合規性:垂直約12 μm

/ N 水平30-40 μm / N

比較大負載:50-180公斤

尺寸:500 x 600 x

84毫米

重量:28.5公斤


TS-140 +40結合了久經考驗的技術***性與優雅且用戶友好的設計

這種中型動態隔振系統非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應用。

在公制(M6 x 25mm)或非公制網格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。


在納米技術的時代,極之微細的振動已對搜索結果造成極大的影響,必須改善測量環境。光刻機隔振臺有哪些品牌

AVI 的隔振性能在負載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。光刻機隔振臺有哪些品牌

使用說明書

解鎖系統后,將設備放置在平坦且堅固的桌子上或地下。

調整負載補償:

將負載放在**上面,并使用以下三個調整負載補償側面的車輪到外殼和頂板之間的距離為2mm。

沿+方向旋轉輪子以增加負載補償方向旋轉車輪以減少負載補償

按下并檢查每個角是否有約0.5mm的自由移動。輕輕地上下拉頂板!

更改負載后,檢查每個角是否自由移動!

將電源插頭連接到背面的輸入電源插座。

按下背面的電源按鈕打開設備“ POWER” LED將點亮,而“ ACTIVE” LED開始閃爍。

大約30秒鐘后,“活動” LED將保持點亮狀態,并且系統現在可以使用了。

您可以通過按“啟用”按鈕來打開和關閉活動隔離。


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