HERCULES®NIL：完全集成的納米壓印光刻解決方案，可實現300 mm的大批量生產

■批量生產低至40 nm的結構或更小尺寸（分辨率取決于過程和模板）

■結合了預處理（清潔/涂布/烘烤/冷卻）和SmartNIL®技術

■全自動壓印和受控的低力分離，可很大程度地重復使用工作印章

■具備工作印章制造能力

EVG®770：連續重復的納米壓印光刻技術，可進行有效的母版制作

■用于晶圓級光學器件的微透鏡的高 效母模制造，直至SmartNIL®的納米結構

■不同類型的母版的簡單實現

■可變的光刻膠分配模式

■分配，壓印和脫模過程中的實時圖像

■用于壓印和脫模的原位力控制

EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻（UV-NIL）產品線。陜西納米壓印用途是什么

IQ Aligner UV-NIL特征：

用于光學元件的微成型應用

用于全場納米壓印應用

三個**控制的Z軸，可在印模和基材之間實現出色的楔形補償

三個**控制的Z軸，用于壓印抗蝕劑的總厚度變化（TTV）控制

利用柔軟的印章進行柔軟的UV-NIL工藝

EVG專有的全自動浮雕功能

抵抗分配站集成

粘合對準和紫外線粘合功能

IQ Aligner UV-NIL技術數據：

晶圓直徑（基板尺寸）：150至300毫米

解析度：≤50 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：柔軟的UV-NIL，鏡片成型

曝光源：汞光源

對準：≤±0.5微米

自動分離：支持的

前處理：涂層：水坑點膠（可選）

迷你環境和氣候控制：可選的

工作印章制作：支持的

EVG7200LA納米壓印實際價格**小外形尺寸和大體積創新型光子結構提供了更多的自由度，這對于實現衍射光學元件（DOE）至關重要。

    它為晶圓級光學元件開發、原型設計和制造提供了一種獨特的方法，可以方便地接觸***研發技術與材料。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術確保在如3D感應的應用中使用小尺寸的高 分辨率光學傳感器供應鏈合作推動晶圓級光學元件應用要在下一代光學傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產，先進的粘合劑與抗蝕材料發揮著不可取代的作用。開發先進的光學材料，需要充分地研究化學、機械與光學特性，以及已被證實的大規模生產（HVM）的可擴展性。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性，以及自動化模制和脫模的專業知識，才能在已驗證的大規模生產中，以**小的形狀因子達到晶圓級光學元件的比較好性能。材料供應商與加工設備制造商之間的密切合作，促成了工藝流程的研發與改善，確保晶圓級光學元件的高質量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產品，并增強雙方的專業技能，從而適應當前與未來市場的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專業的工藝技術，并將加快新產品設計與原型制造的速度，為雙方的客戶保駕護航。“NILPhotonics解決方案支援中心的獨特之處是：它解決了行業內部需要用更短時間研發產品的需求，同時保障比較高的保密性。

EVG ® 720自動SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統

自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米，設有EVG's專有SmartNIL ®技術

EVG720系統利用EVG的創新SmartNIL技術和材料專業知識，能夠大規模制造微米和納米級結構。具有SmartNIL技術的EVG720系統能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結構，具有****的吞吐量，非常適合批量生產下一代微流控和光子器件，例如衍射光學元件（ DOEs）。

*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細的信息，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。也可以訪問官網，獲得更多信息。 IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統。

HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能，具有較低的力和保形壓印，快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統支持各種設備和應用程序的生產，包括用于增強/虛擬現實（AR / VR）頭戴式耳機的光學設備，3D傳感器，生物醫學設備，納米光子學和等離激元學。

HERCULES ® NIL特征：

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區域烙印覆蓋

批量生產**小40 nm或更小的結構

支持各種結構尺寸和形狀，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過程和模板

EVG是納米壓印光刻（NIL）的市場**設備供應商。貴州納米壓印質量怎么樣

SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術。陜西納米壓印用途是什么

EVG ® 7200 LA大面積SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統

用于大面積****的共形納米壓印光刻。

EVG7200大面積UV納米壓印系統使用EVG專有且經過量證明的SmartNIL技術，將納米壓印光刻（NIL）縮放為第三代（550 mm x 650 mm）面板尺寸的基板。對于不能減小尺寸的顯示器，線柵偏振器，生物技術和光子元件等應用，至關重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經濟有效的方法，因為它不受光學系統的限制，并且可以為**小的結構提供比較好的圖案保真度。

SmartNIL利用非常強大且可控的加工工藝，提供了低至40 nm *的出色保形壓印結果。憑借獨特且經過驗證的設備功能（包括****的易用性）以及高水平的工藝專業知識，EVG通過將納米壓印提升到一個新的水平來滿足行業需求。

*分辨率取決于過程和模板 陜西納米壓印用途是什么

岱美儀器技術服務（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿易試驗區加太路39號第五層六十五部位，是一家專業的磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】公司。岱美儀器技術服務是岱美儀器技術服務（上海）有限公司的主營品牌，是專業的磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】公司，擁有自己**的技術體系。公司不僅*提供專業的磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】，同時還建立了完善的售后服務體系，為客戶提供良好的產品和服務。岱美儀器技術服務（上海）有限公司主營業務涵蓋磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發，堅持“質量保證、良好服務、顧客滿意”的質量方針，贏得廣大客戶的支持和信賴。