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Filmetrics膜厚儀有哪些品牌

來源: 發布時間:2019-12-28

電介質成千上萬的電解質薄膜被用于光學,半導體,以及其它數十個行業, 而Filmetrics的儀器幾乎可以測量所有的薄膜。 

測量范例氮化硅薄膜作為電介質,鈍化層,或掩膜材料被廣泛應用于半導體產業。這個案例中,我們用F20-UVX成功地測量了硅基底上氮化硅薄膜的厚度,折射率,和消光系數。有趣的事,氮化硅薄膜的光學性質與薄膜的分子當量緊密相關。使用Filmetrics專有的氮化硅擴散模型,F20-UVX可以很容易地測量氮化硅薄膜的厚度和光學性質,不管他們是富硅,貧硅,還是分子當量。 FSM413SP半自動機臺人工取放芯片。Filmetrics膜厚儀有哪些品牌

F10-ARc

獲得**精確的測量.自動基準功能**增加基準間隔時間, 量測準確性優於其他光纖探頭反射測量系統5倍可選擇UPG - F10-AR - HC軟件升級 測量0.25-15μm硬涂層的厚度. 即使在防反射涂層存在時仍可測量硬涂層厚度我們***探頭設計可排除98%背面反射,當鏡片比1.5mm 更厚時, 可排除比例更高修正了硬膜層造成的局部反射扭曲現象。

F10-ARc:200nm - 15μm** 380-1050nm

當您需要技術支援致電我們的應用工程師,提供即時的24小時援助(週一至週五)網上的 “手把手” 

支持 (需要連接互聯網)硬件升級計劃 Filmetrics F50膜厚儀服務為先當測量斑點只有1微米(μm)時,需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統。

平臺和平臺附件標準和**平臺。

CS-1可升級接觸式SS-3樣品臺,可測波長范圍190-1700nm

SS-36“×6” 樣品平臺,F20 系統的標準配置。 可調節鏡頭高度,103 mm 進深。 適用所有波長范圍。

SS-3-88“×8” 樣品平臺??烧{節鏡頭高度,139mm 進深。 適用所有波長范圍。

SS-3-24F20 的 24“×24” 樣品平臺。 可調節鏡頭高度,550mm 進深。 適用所有波長范圍。

SS-56" x 6" 吋樣品臺,具有可調整焦距的反射光學配件,需搭配具有APC接頭的光纖,全波長范圍使用

樣品壓重-SS-3-50

樣品壓重 SS-3 平臺, 50mm x 50mm

樣品壓重-SS-3-110

樣品壓重 SS-3 平臺, 110mm x 110mm

Filmetrics 的技術Filmetrics 提供了范圍***的測量生物醫療涂層的方案:支架: 支架上很小的涂層區域通常需要顯微鏡類的儀器。 我們的 F40 在幾十個實驗室內得到使用,測量鈍化和/或藥 物輸送涂層。我們有獨特的測量系統對整個支架表面的自動厚度測繪,只需在測量時旋轉支架。植入件: 在測量植入器件的涂層時,不規則的表面形狀通常是***挑戰。 Filmetrics 提供這一用途的全系列探頭。導絲和導引針: 和支架一樣,這些器械常??梢杂孟?F40 這樣的顯微鏡儀器。導液管和血管成型球囊的厚度:大于 100 微米的厚度和可見光譜不透明性決定了 F20-NIR 是這一用途方面全世界眾多實驗室內很受歡迎的儀器。F20-UV測厚范圍:1nm - 40μm;波長:190-1100nm。

FSM 360 拉曼光譜系統

FSM紫外光和可見光拉曼系統, 型號360

FSM拉曼的應用

l  局部應力;

l  局部化學成分

l  局部損傷

紫外光可測試的深度

***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚樣的近表面局部應力



可見光可測試的深度

良好的厚樣以及多層樣品的局部應力

系統測試應力的精度小于15mpa (0.03cm-1)

全自動的200mm和300mm硅片檢查

自動檢驗和聚焦的能力。


以上的信息比較有限,如果您有更加詳細的技術問題,請聯系我們的技術人員為您解答?;蛘咴L問我們的官網了解更多信息。 測量方式: 紅外干涉(非接觸式)。Filmetrics膜厚儀有哪些品牌

利用可選的 UPG-F10-AR-HC 軟件升級能測量 0.25-15um 的硬涂層厚度。Filmetrics膜厚儀有哪些品牌

F60 系列生產環境的自動測繪Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產品一樣測繪薄膜厚度和折射率,但它增加了許多用于生產環境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業計算機,以及升級到全自動化晶圓傳輸的機型。

不同的 F60-t 儀器根據波長范圍加以區分。 較短的波長 (例如, F60-t-UV) 一般用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 

包含的內容:集成平臺/光譜儀/光源裝置(不含平臺)4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標準真空泵備用燈 Filmetrics膜厚儀有哪些品牌

岱美儀器技術服務(上海)有限公司是一家其他型類企業,積極探索行業發展,努力實現產品創新。是一家有限責任公司企業,隨著市場的發展和生產的需求,與多家企業合作研究,在原有產品的基礎上經過不斷改進,追求新型,在強化內部管理,完善結構調整的同時,良好的質量、合理的價格、完善的服務,在業界受到寬泛好評。公司擁有專業的技術團隊,具有磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發等多項業務。岱美儀器技術服務以創造***產品及服務的理念,打造高指標的服務,引導行業的發展。

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