微孔陣列芯片在液滴分散與生化反應中的應用：微孔陣列作為微流控芯片的主要功能單元，其加工精度直接影響液滴生成效率與反應均一性。公司通過光刻膠模塑、激光微加工等技術，在PDMS或硬質塑料基板上制備直徑5-50μm、間距可控的微孔陣列，孔密度可達10^4個/cm2以上。在數字PCR芯片中，微孔陣列將反應液分割成微腔，結合油相封裝實現單分子級核酸擴增，檢測靈敏度可達0.1%突變頻率。針對生化試劑反應腔需求，開發了表面疏水處理技術，使液滴在微孔內的滯留時間延長30%，確保酶促反應充分進行。此外，微孔陣列與微流道的集成設計實現了液滴的高通量生成與分選，每分鐘可處理10^3個以上液滴，適用于高通量藥物篩選與細胞分選芯片，為醫療與生物制藥提供高效工具。硅片微流道加工集成微電極，構建腦機接口柔性電極系統減少手術創傷。河南微流控芯片之PI柔性器件

微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學方法對其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術將微通道等微結構加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用紫外光照射，光刻膠發生化學反應；3)用顯影法去掉已曝光的光膠，用化學腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當的刻蝕劑在基片上刻蝕通道；5)刻蝕結束后，除去光刻膠，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標準光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環境，無法實現快速批量生產。重慶微流控芯片技術規范微流控芯片在不同領域都有非常廣闊的應用前景。

美國圣母大學(University of Notre Dame)的Hsueh-Chia Chang博士與微生物學家和免疫檢測professor合作研究，提高了微流控分析設備檢測細胞和生物分子的速度和靈敏性。同時，Chang對交流電動電學進行了改善，因為他認為交流電（AC）可作為選擇平臺，驅動流體通過用于醫學和研究的微流控分析儀。微流控分析儀的驅動機制是常規的直流電動電學，但是使用時容易產生氣泡并引起物質在電極發生化學反應的缺點限制了直流電的應用，此外，為保證其對流量的精確控制，直流電極必須放置在儲液池中，不能直接連接在電路中。

微米級尺度微流控芯片的精密加工與應用：在0.5-5μm微米級尺度微流控芯片加工領域，公司依托MEMS光刻、深硅刻蝕及納米壓印等技術，實現亞微米級精度的微流道、微孔陣列及三維結構制造。電鏡下可見的精細流道網絡，其寬度誤差可控制在±50nm以內，適用于單分子檢測、液滴生成等超高精度場景。例如，在單分子免疫檢測芯片中，微米級微孔陣列可實現單個生物分子的捕獲與熒光信號放大，檢測靈敏度較傳統方法提升10倍以上。該尺度芯片的加工難點在于材料刻蝕均勻性與表面粗糙度控制，公司通過干濕結合刻蝕工藝與表面化學修飾技術，解決了高深寬比結構（如10:1以上）的加工瓶頸，成功應用于外泌體分選、循環腫瘤細胞捕獲等前沿生物醫學領域，為精細醫療提供器件支撐。微流控芯片檢測技術是什么？

數十微米級微流控芯片的多樣化結構設計與制造：針對10-100μm尺度的微流控芯片需求，公司提供包括蛇形流道、梯度混合腔、閥門陣列等多樣化結構的定制加工。顯微鏡下可見的復雜三維結構，通過光刻膠模塑、熱壓成型及激光切割等工藝實現，適用于細胞培養、酶聯免疫反應（ELISA）及微化學反應等場景。以數字PCR芯片為例，50μm直徑的微腔陣列可將反應體系分割成數萬**單元，結合熒光檢測實現核酸分子的定量，檢測通量較傳統方法提升50%。公司在該尺度加工中注重流道流體動力學優化，通過計算流體力學（CFD）模擬流道阻力與混合效率，確保芯片內試劑傳輸的均勻性與反應可控性。同時，針對硬質塑料與PDMS材料特性，開發了高精度對準鍵合技術，解決了多材料復合芯片的密封與集成難題，廣泛應用于體外診斷試劑盒與便攜式檢測設備。利用微流控芯片對糖尿病做檢測。重慶微流控芯片技術規范

硅基微流道鍵合微電極，為神經調控芯片提供穩定信號傳輸與生物相容性。河南微流控芯片之PI柔性器件

微流控芯片的硅質材料加工工藝：是在硅材料的加工中，光刻(lithography)和濕法刻蝕(wetetching)技術是2種常規工藝。由于硅材料具有良好的光潔度和很成熟的加工工藝，主要用于加工微泵、微閥等液流驅動和控制器件，或者在熱壓法和模塑法中作為高分子聚合物材料加工的陽模。光刻是用光膠、掩模和紫外光進行微制造。光刻和濕法蝕刻技術通常由薄膜沉淀、光刻、刻蝕3個工序組成。在薄膜表面用甩膠機均勻地附上一層光膠。然后將掩模上的圖像轉移到光膠層上，此步驟首先在基片上覆蓋一層薄膜，為光刻。再將光刻上的圖像，轉移到薄膜，并在基片上加工一定深度的微結構，此步驟完成了蝕刻。河南微流控芯片之PI柔性器件