反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經過透射和反射后,來到觀察區域E。G2(右)為補償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經過玻璃板的次數相等,兩束光在到達觀察區域E時沒有因玻璃介質而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時,表現為等傾干涉的圓環形條紋,移動M2時,會不斷從干涉的圓環中心“吐出”或向中心“吞進”圓環。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時,中心就會“吐出”一個個條紋;反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時,則表現為等厚干涉條紋,移動M2時,條紋不斷移過視場中某一標記位置,M2平移距離 d 與條紋移動數 N 的關系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。高新區新款雙頻激光干涉儀銷售廠
(1)接受信號為交流信號,前置放大器為高倍數的交流放大器,不用直流放大,故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應,計數器計頻率差的變化,不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號,這對于遠距離測量是十分重要的,同時在近距離測量時又能簡化調整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響,無需預熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上,以后又用于加工中心的定位系統中。蘇州新款雙頻激光干涉儀五星服務雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測量工具,適用于各種科學研究和工業應用。
環境適應力強即使光強衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點,雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機,也可以在普通的車間內為大型的機床的刻度進行標定。實時動態測速高現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至于十幾m/s,適于高速動態測量。雙頻激光干涉儀的發明使激光干涉儀**終擺脫了計量室的束縛,更為廣泛的應用于工業生產和科學研究中因此,對于雙頻激光干涉儀的研究有利于提高對該儀器的了解,以致于改進其性能,使其在計量方面有著更加廣泛的應用,具有重大意義。
雙頻激光干涉儀激光干涉儀在氦氖激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應, 激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經偏振分光鏡后又分為兩路:一路成為*含有f1的光束,另一路成為*含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束,Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至達到十幾m/s,適于高速動態測量。
激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器,廣泛應用于工程與技術科學領域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現幾何量的檢測,具備抗干擾能力強、精度高等特點。主要應用場景包括數控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準等,通過與不同光學組件結合,可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數 [2]截至2020年11月,激光干涉測量儀的技術參數包括 [1]:標準量程:0-40米測量精度:±0.5 ppm分辨率:1納米比較大速率:240米/分鐘角度測量精度:0.2%而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點,它是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。蘇州新款雙頻激光干涉儀五星服務
光程傳播:參考光束和測量光束分別經過不同的路徑,可能會經過被測物體或介質。高新區新款雙頻激光干涉儀銷售廠
三角運算給出其中疊加后的振幅為可以看到, 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數, 這種幅度的變化有時候在空間表現為周期性的條紋。 這種條紋有時候叫做干涉條紋, 由于相位差變化引起的幅度變化有時也稱為條紋移動。分類干涉儀的分類有不同分法按照結構區分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類, 其差異在于干涉的波是否通過同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見的多路徑干涉儀, 而Sagnac干涉儀, 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]。高新區新款雙頻激光干涉儀銷售廠
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