立式氧化爐：主要用于在中高溫下，使通入的特定氣體（如 O?、H?、DCE 等）與硅片表面發生氧化反應，生成二氧化硅薄膜，應用于 28nm 及以上的集成電路、先進封裝、功率器件等領域。立式退火爐：在中低溫條件下，通入惰性氣體（如 N?），消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷，優化硅片界面質量，適用于 8nm 及以上的集成電路、先進封裝、功率器件等。立式合金爐：在低溫條件下，通入惰性或還原性氣體（如 N?、H?），降低硅片表面接觸電阻，增強附著力，用于 28nm 及以上的集成電路、先進封裝、功率器件等。智能控制系統使立式爐操作更加便捷。山東立式爐三氯化硼擴散爐

立式爐主要適用于6"、8"、12"晶圓的氧化、合金、退火等工藝。氧化是在中高溫下通入特定氣體（O2/H2/DCE），在硅片表面發生氧化反應，生成二氧化硅薄膜的一種工藝。生成的二氧化硅薄膜可以作為集成電路器件前道的緩沖介質層和柵氧化層等。退火是在中低溫條件下，通入惰性氣體（N2），消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷，優化硅片界面質量的一種工藝。立式爐通過電加熱器或其他加熱元件對爐膛內的物料進行加熱。由于爐膛管道垂直放置，熱量在爐膛內上升過程中能夠得到更均勻的分布，有助于提高加熱效率和溫度均勻性?。九江立式爐退火爐立式爐操作簡單易上手，降低人力成本。

立式爐的爐襯材料選擇直接影響其隔熱性能、使用壽命和運行成本。常見的爐襯材料有陶瓷纖維、巖棉、輕質隔熱磚等。陶瓷纖維重量輕、隔熱性能好、耐高溫，但強度相對較低；巖棉價格相對較低，隔熱性能較好，但在高溫下穩定性較差；輕質隔熱磚強度高、耐高溫性能好，適用于爐體承受較大壓力和溫度波動的部位，但重量較大，成本相對較高。在選擇爐襯材料時，需根據立式爐的工作溫度、壓力、使用環境等因素綜合考慮，合理搭配不同的爐襯材料，以達到理想的隔熱效果和經濟效益。

展望未來，立式爐將朝著智能化、高效化、綠色化的方向發展。在智能化方面，進一步提升自動化操作和遠程監控水平，實現設備的自主診斷和智能維護，提高生產效率和管理水平。在高效化方面，不斷優化設計，提高熱效率和能源利用率，降低生產成本。在綠色化方面，加強環保技術創新，減少污染物排放，實現清潔生產。隨著新材料、新技術的不斷涌現，立式爐還將不斷創新和發展，滿足不同行業對加熱設備的需求，為經濟社會的發展做出更大的貢獻。立式爐在光伏行業中用于太陽能電池片的高溫處理。

立式爐的基礎結構設計融合了工程力學與熱學原理。其爐膛呈垂直柱狀，這種形狀較大化利用空間，減少占地面積。爐體外殼通常采用強度高的碳鋼，確保在高溫環境下的結構穩定性。內部襯里則選用耐高溫、隔熱性能優良的陶瓷纖維或輕質耐火磚。陶瓷纖維質地輕盈，隔熱效果出眾，能有效減少熱量散失；輕質耐火磚強度高，可承受高溫沖擊，保護爐體不受損壞。燃燒器安裝在爐膛底部，以切線方向噴射火焰，使熱量在爐膛內形成旋轉氣流，均勻分布，避免局部過熱。爐管呈垂直排列，物料自上而下的流動，充分吸收熱量，這種設計保證了物料受熱均勻，提高了加熱效率。立式爐在電子元器件制造中用于陶瓷電容器的燒結工藝。金華立式爐SIPOS工藝

立式爐的耐火材料，保障長期穩定運行。山東立式爐三氯化硼擴散爐

安全是立式爐設計和運行過程中必須高度重視的問題。在設計上，配備了多重安全防護裝置。首先，爐體采用強度高的材料制造，能夠承受高溫、高壓等惡劣工況，防止爐體破裂引發安全事故。其次，設置了完善的防爆系統，在爐膛內安裝防爆門，當爐內壓力異常升高時，防爆門自動打開，釋放壓力，避免事故的發生。還配備了火災報警和滅火系統，一旦發生火災，能夠及時發現并進行撲救。在操作方面，設置了嚴格的操作規程和安全警示標識，操作人員必須經過專業培訓，熟悉設備的操作方法和應急處理措施，確保立式爐的安全穩定運行，保障人員和設備的安全。山東立式爐三氯化硼擴散爐