立式爐主要適用于6"、8"、12"晶圓的氧化、合金、退火等工藝。氧化是在中高溫下通入特定氣體（O2/H2/DCE），在硅片表面發生氧化反應，生成二氧化硅薄膜的一種工藝。生成的二氧化硅薄膜可以作為集成電路器件前道的緩沖介質層和柵氧化層等。退火是在中低溫條件下，通入惰性氣體（N2），消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷，優化硅片界面質量的一種工藝。立式爐通過電加熱器或其他加熱元件對爐膛內的物料進行加熱。由于爐膛管道垂直放置，熱量在爐膛內上升過程中能夠得到更均勻的分布，有助于提高加熱效率和溫度均勻性?。立式爐在制藥領域，嚴格把控溫度工藝。池州立式爐非摻雜POLY工藝

安全是立式爐設計和運行的首要考量。在結構設計上，采用強度的耐高溫材料，確保爐體在高溫、高壓環境下的穩定性，防止爐體破裂引發安全事故。設置多重防爆裝置，如防爆門和安全閥。當爐內壓力異常升高時，防爆門自動打開，釋放壓力，避免爆破；安全閥則在壓力超過設定值時自動泄壓。配備先進的火災報警系統，通過煙霧傳感器和溫度傳感器實時監測爐內情況，一旦發現異常，立即發出警報并啟動滅火裝置。此外，還設置了緊急停車系統，在突發情況下，操作人員可迅速按下緊急按鈕，停止設備運行，保障人員和設備的安全。池州智能立式爐優化爐管排列，讓立式爐加熱更均勻。

立式爐溫控系統，多采用智能溫控儀，具備 PID 自整定、可編程等等的功能，能精確控制溫度。可實現自動升溫、保溫、降溫的功能，有的還能設置多段升降溫程序，控溫精度通常可達±1℃。立式爐其他部件：可能包括進料裝置、出料裝置、氣體通入和排出裝置、密封裝置等等。例如一些立式管式爐，上端有密封法蘭，可用于安裝吊環、真空計等，還能將熱電偶伸到樣品表面測量溫度等；有的配備水冷式密封法蘭，與爐管緊密結合，保證爐內氣氛穩定等。

為確保立式爐長期穩定運行，定期的維護保養至關重要。首先，要對燃燒器進行定期檢查和清潔，確保燃料噴嘴無堵塞，空氣供應通道暢通，保證燃燒器的正常工作和燃燒效率。其次，檢查爐管的腐蝕和磨損情況，對于出現輕微腐蝕或磨損的部位，及時進行修復或更換，防止爐管破裂泄漏。還要定期檢查隔熱材料的完整性，如有損壞及時更換，以減少熱量散失。此外，對自動化控制系統進行維護，確保溫度傳感器、控制器等設備的準確性和可靠性，定期校準和調試，保證溫度控制的精確性。做好立式爐的維護保養工作，能夠延長設備使用壽命，降低維修成本，提高生產效率。立式爐的多層設計可同時處理多片晶圓，提升生產效率。

立式爐的爐襯材料選擇直接影響其隔熱性能、使用壽命和運行成本。常見的爐襯材料有陶瓷纖維、巖棉、輕質隔熱磚等。陶瓷纖維重量輕、隔熱性能好、耐高溫，但強度相對較低；巖棉價格相對較低，隔熱性能較好，但在高溫下穩定性較差；輕質隔熱磚強度高、耐高溫性能好，適用于爐體承受較大壓力和溫度波動的部位，但重量較大，成本相對較高。在選擇爐襯材料時，需根據立式爐的工作溫度、壓力、使用環境等因素綜合考慮，合理搭配不同的爐襯材料，以達到理想的隔熱效果和經濟效益。立式爐垂直結構設計，有效節省占地面積。寧波立式爐非摻雜POLY工藝

立式爐的模塊化設計，便于安裝與維護。池州立式爐非摻雜POLY工藝

立式爐的關鍵結構包含爐膛、燃燒器、爐管以及煙囪等部分。爐膛作為關鍵空間，為物料的加熱反應提供場所，其形狀和尺寸根據不同的工藝需求而設計，內部襯里通常采用耐高溫、隔熱性能良好的材料，以減少熱量散失并保護爐體。燃燒器安裝在爐膛底部或側面，負責將燃料與空氣按比例混合并充分燃燒，為加熱過程提供熱源。爐管則是物料流經的通道，根據工藝要求，可設計為直管、盤管等多種形式，均勻分布在爐膛內，充分吸收燃燒產生的熱量。煙囪位于爐體頂部，主要作用是排出燃燒后的廢氣，同時利用煙囪效應，促進爐內空氣的流通，保障燃燒的充分性。合理的結構設計是立式爐高效運行的基礎，各部件協同工作，確保熱量均勻傳遞，物料受熱穩定。池州立式爐非摻雜POLY工藝