立式爐是一種垂直設計的工業加熱設備，其關鍵結構包括爐膛、加熱元件、溫控系統和氣體循環系統。爐膛通常由耐高溫材料制成，能夠承受極端溫度環境。加熱元件（如電阻絲或硅碳棒）均勻分布在爐膛內，確保熱量分布均勻。溫控系統通過熱電偶或紅外傳感器實時監測爐內溫度，并根據設定值自動調節加熱功率。氣體循環系統則用于控制爐內氣氛，滿足不同工藝需求。立式爐的工作原理是通過垂直設計實現熱量的自然對流，從而提高加熱效率和溫度均勻性。高效換熱結構，提升立式爐熱交換效率。煙臺一體化立式爐

化學氣相沉積（CVD）是立式爐的又一重要應用領域。在爐管內通入反應氣體，高溫條件促使反應氣體在晶圓表面發生化學反應，進而沉積形成薄膜。早期，多晶硅、氮化硅、二氧化硅等關鍵薄膜的沉積常常借助立式爐完成。即便在當下，部分被單片式 CVD 取代，但在對薄膜均勻性要求極高、需要大批量沉積特定薄膜，如厚氧化層時，立式爐 CVD 憑借其均勻性優勢，在半導體制造中依舊占據重要地位。立式爐的立式結構有助于氣體在爐管內均勻流動，使反應氣體能夠均勻接觸晶圓表面，從而在晶圓上沉積出厚度均勻、質量穩定的薄膜，滿足半導體制造對薄膜高質量的嚴格要求。制造立式爐擴散爐自動化裝卸料，提高立式爐生產效率。

立式爐的爐襯材料選擇直接影響其隔熱性能、使用壽命和運行成本。常見的爐襯材料有陶瓷纖維、巖棉、輕質隔熱磚等。陶瓷纖維重量輕、隔熱性能好、耐高溫，但強度相對較低；巖棉價格相對較低，隔熱性能較好，但在高溫下穩定性較差；輕質隔熱磚強度高、耐高溫性能好，適用于爐體承受較大壓力和溫度波動的部位，但重量較大，成本相對較高。在選擇爐襯材料時，需根據立式爐的工作溫度、壓力、使用環境等因素綜合考慮，合理搭配不同的爐襯材料，以達到理想的隔熱效果和經濟效益。

立式爐的安裝與調試是確保設備正常運行的重要環節。在安裝前，要做好基礎施工，確保基礎的平整度和承載能力符合要求。安裝過程中，嚴格按照設計圖紙進行，確保各部件的安裝位置準確，連接牢固。對燃燒器、爐管、煙囪等關鍵部件進行仔細檢查和安裝，保證其密封性和穩定性。在調試階段，首先進行空載調試，檢查設備的運行狀況，如電機的轉向、傳動部件的運轉是否正常等。然后進行負載調試，逐步增加燃料供應和熱負荷，檢查溫度控制、燃燒效果等指標是否符合要求。在調試過程中，及時發現并解決問題，確保立式爐能夠順利投入使用。化工行業應用立式爐，滿足多樣工藝需求。

立式氧化爐：主要用于在中高溫下，使通入的特定氣體（如 O?、H?、DCE 等）與硅片表面發生氧化反應，生成二氧化硅薄膜，應用于 28nm 及以上的集成電路、先進封裝、功率器件等領域。立式退火爐：在中低溫條件下，通入惰性氣體（如 N?），消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷，優化硅片界面質量，適用于 8nm 及以上的集成電路、先進封裝、功率器件等。立式合金爐：在低溫條件下，通入惰性或還原性氣體（如 N?、H?），降低硅片表面接觸電阻，增強附著力，用于 28nm 及以上的集成電路、先進封裝、功率器件等。定期維護保養，確保立式爐性能穩定。上海立式爐摻雜POLY工藝

立式爐的快速冷卻系統可滿足快速升降溫的工藝需求。煙臺一體化立式爐

隨著環保和節能要求的日益提高，立式爐在節能技術方面不斷創新。先進的余熱回收系統是關鍵創新之一，通過熱交換器將高溫廢氣中的熱量傳遞給冷空氣或待加熱物料。例如，將預熱后的空氣送入燃燒器，能提高燃燒效率，減少燃料消耗；將余熱傳遞給原料，可降低物料升溫所需的熱量。此外，采用高效的隔熱材料，如多層復合陶瓷纖維，有效減少了爐體的散熱損失。一些新型立式爐還配備智能能源管理系統，根據生產負荷實時調整燃燒器的工作狀態，實現能源的精細化管理，顯著提高了能源利用效率，降低了企業的運營成本和碳排放。煙臺一體化立式爐