激光干涉儀以其納米級別的測量精度，在半導體制造、精密機械加工等領域發(fā)揮著關鍵作用。然而，它對環(huán)境變化極為敏感，溫度、濕度的微小波動以及空氣潔凈度的差異，都可能干擾激光的傳播路徑與干涉效果，致使測量結果出現(xiàn)偏差。精密環(huán)控柜的超高精度溫度控制，能將溫度波動控制在極小區(qū)間，如關鍵區(qū)域 ±2mK（靜態(tài)），同時確保濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，并且實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，為激光干涉儀提供穩(wěn)定、潔凈的測量環(huán)境，保障其測量精度不受外界因素干擾。光譜分析儀用于分析物質的光譜特性，廣泛應用于半導體材料檢測、化學分析等領域。在工作時，外界環(huán)境的不穩(wěn)定可能導致儀器內(nèi)部光學元件的性能變化，影響光譜的采集與分析精度。精密環(huán)控柜通過調(diào)控溫濕度，避免因溫度變化使光學元件熱脹冷縮產(chǎn)生變形，以及因濕度異常造成的鏡片霉變、光路散射等問題。其穩(wěn)定的環(huán)境控制能力，保證光譜分析儀能夠準確、可靠地分析物質光譜，為科研與生產(chǎn)提供數(shù)據(jù)支持。半導體芯片制造環(huán)節(jié)，憑借其超高潔凈度及極為微小的溫濕度波動，有效減少芯片瑕疵，提升產(chǎn)品良品率。0.01℃恒溫恒濕空調(diào)

精密環(huán)控柜采用可拆卸鋁合金框架，這一設計極具創(chuàng)新性和實用性。對于大型設備，可在現(xiàn)場進行組裝，減少了運輸過程中的體積和重量，降低了運輸難度和成本。同時，鋁合金材質具有強度高、質量輕、耐腐蝕等優(yōu)點，保證了設備的結構穩(wěn)定性和使用壽命。箱體采用高質量鈑金材質，不僅堅固耐用，而且美觀大方。更重要的是，可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色，滿足不同用戶的個性化審美需求。在一些對環(huán)境美觀度有要求的實驗室或生產(chǎn)車間，定制化的外觀設計能使設備更好地融入整體環(huán)境。這種既注重功能又兼顧外觀的設計，充分體現(xiàn)了產(chǎn)品的人性化和靈活性。0.01℃恒溫恒濕空調(diào)針對高精密儀器使用區(qū)域，提供穩(wěn)定環(huán)境，延長儀器設備的使用壽命。

高精密恒溫恒濕技術憑借其無可比擬控制系統(tǒng)，為眾多場景帶來穩(wěn)定且理想的環(huán)境。這一技術通過高精度傳感器，對環(huán)境溫濕度進行實時監(jiān)測，誤差能控制在極小范圍內(nèi)，溫度可至 ±0.0002℃，濕度穩(wěn)定在 ±1%。其原理在于智能調(diào)控系統(tǒng)，依據(jù)設定參數(shù)，迅速調(diào)節(jié)制冷、制熱與加濕、除濕設備。當溫度升高，制冷系統(tǒng)快速啟動，降低溫度；濕度上升時，高效除濕裝置立即運作。在諸多需要嚴苛環(huán)境條件的場景中，它都發(fā)揮著關鍵作用。例如，在需要長期保存對環(huán)境敏感的珍貴物品或樣本時，它能防止物品因溫濕度變化變質、損壞。在進行精密實驗時，穩(wěn)定的溫濕度為實驗數(shù)據(jù)的準確性與可靠性提供保障，避免因環(huán)境波動干擾實驗結果。總之，高精密恒溫恒濕技術是維持環(huán)境穩(wěn)定、保障各類工作順利開展的重要支撐。

我司自主研發(fā)的高精密控溫技術，控制輸出精度達 0.1%，能精細掌控溫度變化。溫度波動控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔，滿足嚴苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異，可達百級、十級、一級。關鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK，內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m，為芯片研發(fā)等敏感項目營造理想溫場，保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面，8 小時內(nèi)穩(wěn)定性可達 ±0.5%；壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa，設備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時，助力長時間實驗與制造。在潔凈度上，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，既確保實驗結果準確可靠，又保障精密儀器正常工作與使用壽命，推動科研與生產(chǎn)進步。該設備內(nèi)部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對每個環(huán)節(jié)進行處理，使柜內(nèi)溫濕度達到超高精度。

在化學、材料、制藥、微生物、細胞等實驗室科研中，精密環(huán)控柜為各類實驗提供了穩(wěn)定的環(huán)境條件，是科研工作順利開展的重要支撐。在化學實驗中，一些化學反應對溫度極為敏感，0.1℃的溫度偏差都可能改變反應速率和產(chǎn)物純度。精密環(huán)控柜的高精密溫度控制，確保實驗溫度穩(wěn)定，為化學反應提供理想條件，保證實驗結果的準確性和可重復性。材料研究中，材料的性能測試需要嚴格控制環(huán)境溫濕度。例如，對新型半導體材料的性能檢測，環(huán)境濕度的變化可能影響材料的電學性能。精密環(huán)控柜的溫濕度控制，為材料性能測試提供穩(wěn)定環(huán)境，助力科研人員準確評估材料性能。為滿足多樣化需求，箱體采用高質量鈑金材質，可按需定制外觀顏色。安徽0.002℃恒溫恒濕

其控制系統(tǒng)精細處理循環(huán)氣流各環(huán)節(jié)，確保柜內(nèi)溫濕度的超高精度控制。0.01℃恒溫恒濕空調(diào)

芯片蝕刻時，刻蝕速率的均勻性對芯片電路完整性至關重要。溫度波動如同 “蝴蝶效應”，可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制，以及可達 ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導致的刻蝕異常，保障芯片蝕刻質量。芯片沉積與封裝過程中，精密環(huán)控柜的超高水準潔凈度控制發(fā)揮關鍵作用。其可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。0.01℃恒溫恒濕空調(diào)