數據實時記錄查詢功能為用戶帶來了極大的便利，提升了設備的使用體驗和管理效率。數據自動生成曲線，就如同設備運行的 “心電圖”，用戶通過曲線能直觀地看到設備運行過程中溫濕度、壓力等參數隨時間的變化情況，便于及時發現異常波動。數據自動保存，方便用戶進行后續的數據分析和處理?？蒲腥藛T可以通過分析歷史數據，優化實驗方案；生產人員能夠依據數據找出設備運行的參數，提高生產效率和產品質量。同時，運行狀態、故障狀態等事件同步記錄，查詢一目了然。一旦設備出現故障，用戶能迅速從記錄中獲取故障發生的時間、類型等信息，為快速排查和解決故障提供有力支持。采用先進的智能自控系統，根據監測數據自動調節環境參數，符合溫濕度波動要求。光刻機溫濕度試驗箱

精密環控柜主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環，控制系統對循環氣流的每個環節進行處理，從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。該系統可實現潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環境控制。自面世以來，已為相關領域客戶提供了穩定的實驗室環境以及監測服務，獲得了眾多好評。光刻機溫濕度試驗箱制冷單元內部采用高效隔音材質，進一步降低設備噪音，噪音<45dB。

在科研與工業制造等眾多領域，光學儀器如激光干涉儀、光學顯微鏡、電子顯微鏡等，發揮著無可替代的關鍵作用，而它們對運行環境的要求極為苛刻，尤其是溫濕度、潔凈度以及抗微震性能。精密環控柜的出現，為這些精密儀器提供了理想的運行環境。以激光干涉儀為例，其憑借納米級別的高精度測量能力，在諸多精密領域不可或缺。但它對溫度極度敏感，哪怕有 0.01℃的溫度波動，由于儀器主體與測量目標熱脹冷縮程度的差異，會造成測量基線改變，致使測量位移結果出現偏差。精密環控柜憑借超高精度溫度控制，將溫度波動控制在極小范圍，有力保障了激光干涉儀測量的準確性。

超高精度溫度控制是精密環控柜的一大突出亮點。其自主研發的高精密控溫技術，使得控制輸出精度達到驚人的 0.1% ，這意味著對溫度的調控能夠精細到極小的范圍。設備內部溫度穩定性在關鍵區域可達 +/-2mK (靜態) ，無論外界環境如何變化，都能保證關鍵部位的溫度處于極其穩定的狀態。內部溫度規格可在 22.0°C (可調) ，滿足不同用戶對溫度的個性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ，確保柜內各個角落的溫度幾乎一致，避免因溫度差異導致的實驗誤差或產品質量問題。再加上設備內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h ，以及壓力穩定性可達 +/-3Pa ，連續穩定工作時間大于 144h ，為對溫濕度、壓力要求苛刻的實驗和生產提供了可靠的環境保障，讓長時間的科研實驗和精密制造得以順利進行。根據高精密行業用戶的反饋，對產品進行持續優化，不斷提升設備的適用性和穩定性。

在芯片這一高科技產品的復雜生產流程里，眾多環節對溫濕度的波動展現出了近乎苛刻的精密度要求。光刻過程中，利用高精度的光刻設備，將預先設計好的復雜電路圖案轉移至硅片表面。溫度的穩定性起著決定性作用，哪怕有零點幾攝氏度的微小波動，都會使光刻膠內部的化學反應速率產生偏差。光刻膠作為一種對光敏感的高分子材料，其反應速率的改變將直接作用于光刻成像效果，致使圖案邊緣模糊、線條粗細不均，進而讓芯片上的線路出現偏差，甚至引發短路故障，讓前期投入的大量人力、物力和時間付諸東流。與此同時，濕度因素同樣不可小覷。光刻車間若濕度偏高，水汽極易滲透至光刻膠內部，使其含水量上升，感光度隨之降低，如同給精密的 “光刻鏡頭” 蒙上一層霧靄，嚴重影響光刻精度，導致芯片良品率大打折扣，大幅增加生產成本。設備大小可定制，能匹配各種高精密設備型號，及操作空間要求，構建完整環境體系，保障高精密設備正常運行。光刻機溫濕度試驗箱

設備內部濕度穩定性極強，8 小時內可達±0.5%。光刻機溫濕度試驗箱

在光學儀器的裝配過程中，濕度的控制同樣關鍵。濕度過高容易使光學鏡片表面產生水汽凝結，形成水漬，不僅影響鏡片的外觀，還會降低鏡片的光學性能。此外，高濕度環境還可能導致金屬部件生銹腐蝕，影響儀器的結構穩定性和使用壽命。精密環控柜通過調節濕度，確保鏡片在裝配過程中始終處于干燥、潔凈的環境中，有效避免了上述問題的發生。這使得生產出的光學儀器，無論是用于科研領域的顯微鏡、望遠鏡，還是用于工業檢測的投影儀、測量儀等，都能具備光學性能和穩定性，滿足不同行業對高精度光學儀器的需求。光刻機溫濕度試驗箱