深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。據外媒報道，韓國浦項工科大學（PohangUniversityofScienceandTechnology）的一組研究人員已經研發出近紅外（NIR）硅光電二極管，比現有的光電二極管靈敏度高出三分之一。現有的近紅外光電二極管通常由化學材料制成，需要單獨的冷卻裝置，很難集成。而浦項工科大學Chang-KiBaek教授領導的一組研究人員采用沙漏型的硅納米線，增加了硅對紅外光的吸收。位于納米線上方，倒轉的納米錐通過產生回音壁式共振，延長了近紅外-短波紅外（SWIR）光子的停留時間，而下方的納米錐由于反射率低，能夠重新吸收附近納米線的入射光。與現有的平板硅光電子二極管相比，該納米線在1000納米波長下。本發明的目的通過以下技術方案實現：本發明提供一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法。杭州濱松硅光電二極管特性

深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。本發明屬于半導體器件技術領域，涉及一種高速高響應度的硅基光電二極管及其制備方法。背景技術：硅基光電二極管由于其材料成本造工藝簡單，響應度峰值波長為940nm，在3dsensor、紅外測距、光通訊等領域有著廣泛的應用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波長相關，波長越長，入射越深，因此為了提高響應度，傳統光電二極管均選用高阻材料(電阻率2000～5000ohmcm)來提升耗盡區寬度，從而達到提高響應度的目的。隨著光電二極管在光通訊中的廣泛應用，光電二極管的響應速度要求越來越高，常規硅基光電二極管響應時間為納秒級，已無法滿足數據傳輸率1gbps以上的應用場景，因此。廣東國產硅光電二極管廠家世華高硅光電二極管帶你體驗智能系統。

通過適當減小耗盡區寬度和減小擴散區電阻率，耗盡區寬度減小導致響應度的降低，再通過增加高反層使得光子在較薄的耗盡區中二次吸收來補償，以減小耗盡區變薄對光響應度的影響(參見圖3)；高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時，降低響應時間；進一步，通過在高反層上刻孔形成均勻的電流路徑同時獲得高的響應速度(參見圖4)；由于擴散區(耗盡區以外的區域)材料電阻率很低，擴散區阻抗很小。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。

以p型離子注入形成有源區；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層，所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層；所述的正面金屬電極是在濺射后經刻蝕成形。所述外延層的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層厚度wepi根據耗盡區寬度wd確定：wepi≈wd，而wd≥w入/2，其中w入＝f(λ)，w入為入射光入射深度，λ為入射光波長。一種高速高響應度的硅基光電二極管的制備方法，包括以下操作：1)在襯底上濺射生成高反層；2)高反層開設刻蝕孔；3)高反層上通過淀積的方法生長外延層；4)在外延層上通過離子注入分別形成保護環和有源區；5)在保護環和有源區上生成sio2層，然后在sio2層上方生成si3n4層；6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔，然后濺射金屬，濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極；7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極。所述的襯底采用電阻率20～100為ohm·cm的低電阻率硅材料；襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸；所述的高反層是由折射率～～，通過化學氣相淀積或光學鍍膜技術生成；所述的外延層的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層的厚度與耗盡區寬度相當；所述的保護環為as離子源注入，注入劑量為1e15～2e15。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳。世華高硅光電二極管帶你開啟智慧生活。

隨著科技的發展，硅光二極管的性能也在不斷提升。例如，通過改進材料和工藝，可以提高硅光二極管的量子效率和響應時間；通過集成化設計，可以將硅光二極管與其他光電子器件集成在一起，形成功能更強大的光電子系統。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。隨著生產規模的不斷擴大和產品種類的豐富，公司的銷售業績穩步提升。專注硅光電二極管，智能硬件解決方案-世華高。珠海光電硅光電二極管二極管

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通過2CU、R-1-、R-2-的電流很小，因此R-2-兩端電壓很小，使BG-1-截止。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年。總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。BG-2-也截止，繼電器觸點釋放。杭州濱松硅光電二極管特性