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SiC晶圓磨削砂輪對比

來源: 發(fā)布時間:2025-05-26

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,憑借其高性能陶瓷結(jié)合劑和“Dmix+”制程工藝,在第三代半導體材料加工領域樹立了新的目標。這種獨特的結(jié)合劑配方不只賦予了砂輪強度高和韌性,還通過多孔顯微組織的設計,實現(xiàn)了高研削性能和良好的散熱效果。在實際應用中,無論是粗磨還是精磨,優(yōu)普納的砂輪都能保持穩(wěn)定的性能,減少振動和損傷,確保加工后的晶圓表面質(zhì)量優(yōu)異。這種技術優(yōu)勢不只滿足了半導體制造的需求,還為國產(chǎn)化替代提供了堅實的技術支持。在實際案例中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機上對8吋SiC線割片進行精磨,磨耗比200% Ra≤3nm TTV≤2μm。SiC晶圓磨削砂輪對比

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在半導體加工領域,精度是衡量產(chǎn)品質(zhì)量的關鍵指標。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,憑借其專研的強度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑和多孔顯微組織調(diào)控技術,能夠?qū)崿F(xiàn)極高的加工精度。在東京精密-HRG200X減薄機的實際應用中,無論是6吋還是8吋的SiC線割片,加工后的表面粗糙度Ra值均能達到納米級別,總厚度變化TTV控制在微米級別以內(nèi)。這種高精度的加工能力,不只滿足了半導體制造的需求,還為優(yōu)普納在國產(chǎn)碳化硅減薄砂輪市場奠定了堅實的基礎,使其成為高精度加工的代名詞。進口砂輪實驗數(shù)據(jù)通過與國內(nèi)外主流減薄設備的完美適配,優(yōu)普納砂輪為客戶提供靈活加工解決方案,提升生產(chǎn)效率降低綜合成本。

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襯底粗磨減薄砂輪的應用工序主要包括背面減薄和正面磨削的粗磨加工。在背面減薄過程中,砂輪需要與晶圓保持恒定的接觸面積,以確保磨削力的穩(wěn)定,避免晶圓出現(xiàn)破片或亞表面損傷。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的襯底粗磨減薄砂輪經(jīng)過精心設計和制造,具有優(yōu)異的端面跳動和外圓跳動控制,能夠在高轉(zhuǎn)速下保持穩(wěn)定的磨削性能。此外,我們的砂輪還具有良好的散熱性能,能夠有效降低磨削過程中產(chǎn)生的熱量,保護晶圓不受熱損傷。歡迎您的隨時致電咨詢~

激光改質(zhì)技術是利用高能激光束對材料表面進行局部加熱和熔化,從而改變其物理和化學性質(zhì)的過程。在激光改質(zhì)層減薄砂輪的生產(chǎn)中,激光束能夠精確控制加熱區(qū)域,使得砂輪表面形成一層致密的改質(zhì)層。這一改質(zhì)層不僅提高了砂輪的硬度和耐磨性,還增強了其抗熱疲勞和抗氧化能力。與傳統(tǒng)的砂輪相比,激光改質(zhì)層減薄砂輪在磨削過程中產(chǎn)生的磨損更少,能夠有效降低砂輪的更換頻率,提升生產(chǎn)效率。此外,激光改質(zhì)技術的應用還使得砂輪的加工精度和表面質(zhì)量得到了明顯提升,滿足了現(xiàn)代制造業(yè)對高精度、高效率的需求。優(yōu)普納砂輪于東京精密-HRG200X減薄機上,對8吋SiC線割片進行粗磨,磨耗比35%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其低損耗特性成為半導體加工領域的理想選擇。其獨特的多孔顯微組織調(diào)控技術,使得砂輪在高磨削效率的同時,磨耗比極低。在東京精密-HRG200X減薄機的實際應用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長時間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長,為客戶節(jié)省了大量的成本。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進一步提升了產(chǎn)品的性價比,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)化替代進程中占據(jù)優(yōu)勢。從材料特性到設備適配,優(yōu)普納砂輪提供全方面解決方案,確保加工過程的高效性和穩(wěn)定性。氮化鎵砂輪工藝

砂輪適配國內(nèi)外主流減薄設備,根據(jù)不同材料和尺寸定制 滿足多元化加工需求 推動國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展。SiC晶圓磨削砂輪對比

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其優(yōu)越的**低損耗特性**,為客戶節(jié)省了大量的成本。其獨特的多孔顯微組織調(diào)控技術,使得砂輪在高磨削效率的同時,磨耗比極低。在實際應用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長時間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進一步提升了產(chǎn)品的性價比,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)化替代進程中占據(jù)優(yōu)勢。SiC晶圓磨削砂輪對比

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