進入RTO焚燒爐的廢氣要求 (1)主要適用于大風量、低濃度的廢氣焚燒; (2)含酸性污染物先進行預處理，去除絕大部分無機酸; (3)廢氣中VOCs濃度不能過高，一般控制在LEL下限的25%以下; (4)廢氣不能含明顯固體、粉塵，否則必須經過預除塵、過濾處理; (5)禁止混入氫氣、甲烷氣、乙烯等危險性較大的廢氣。 RTO的局限性 (1)不能處理高含量含氫廢氣、甲烷廢氣、腐蝕性廢氣、乙烯廢氣等危險性廢氣; (2)不能處理LEL濃度超過25%的廢氣，如果高于該濃度要求，則需要經過稀釋處理，就會降低焚燒的經濟性; (3)廢氣量根據設計流量平穩排放，不得突然超量排放; (4)不能處理廢液、廢水、固廢。RTO焚燒爐，全稱為三槽蓄熱式焚燒爐。廣東三箱式RTO爐

半導體廢氣處理組件 半導體工業廢氣的主要成分是有機廢氣和酸堿廢氣。有機成分：非甲烷碳氫化合物、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿成分：氨、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。 2、 工業排放標準 3、 半導體廢氣處理方法 一般半導體行業廢氣處理的解決方案如下： （1） 預處理階段：采用噴淋塔對廢水進行預處理，去除粉塵和溶于水的有害氣體。 （2） 主要處理階段：這一階段，較為常用和有效的方法有：紫外線光解、生物過濾分解、焚燒和催化燃燒。 由于各企業產生的廢氣成分、風量、濃度不同，所采用的半導體廢氣處理方法也會有所不同或需要多種方法的組合。具體治療方案請咨詢我們。我們將有工程師為您制定一對一的治療方案。安徽化工RTO廠家直接焚燒焚燒爐可達99%碳氫化合物損壞去除率，為達此去除率，高溫的廢氣區在爐內堅持一定的滯留時刻。

自2016年北京《大氣污染物綜合排放標準》（DB11/501-2017）的頒布實施后，北京率先實施地標50mg/m3的排放標準，目前已有19個省份陸續執行50mg/m3標準。世界主要發達國家VOCs廢氣排放標準，美國是180mg/m3，歐盟是150mg/m3，日本是300mg/m3，中國國標是120mg/m3；全世界RTO設備制造商2016年起才開始研發生產高標準要求的RTO，高標準RTO運行時間只有2.5年。國內外高排放標準的RTO技術研發基本站在了同一起跑線上。 為了滿足環境治理的達標排放以及控制企業投資成本的高要求，提高設備運行效益，減排降耗，蓄熱式熱力焚燒爐（RTO）也在不斷的技術改進。隨著國家環保及企業對廢氣處理設備的要求逐漸提高，兩床式RTO已逐漸被淘汰。三床式RTO較早進入我國市場，所以目前市場占有比例較大。由于旋轉式RTO的綜合性能要比三床式RTO更好，所以考慮到環保要求和成本控制，旋轉式RTO正在擴大市場占有率。

RTO爐的工作原理： 有機物(VOCs)在一定溫度下與氧氣發生反應，生成二氧化碳和水，并放出一定熱量的氧化反應過程，RTO是把廢氣加熱到700℃以上，使廢氣中的VOC氧化分解為二氧化碳和水，氧化產生的高溫氣體流經陶瓷蓄熱體，使之升溫“蓄熱”，并用來預熱后續進入的有機廢氣，從而節省廢氣升溫燃料消耗的處理技術。 RTO蓄熱焚燒爐的性能特點： 1、處理風量從2000-50000Nm/h，因采用的旋轉閥，旋轉轉子進行旋轉，改變變頻驅動氣流方向； 2、處理效率在98%以上，熱能回收率95%以上； 3、旋轉閥連續運轉，氣流順暢，噪音小，設備負荷變動少，壽命長； 4、結構緊湊，設備簡易，占地面積??； 5、驅動部位和蓄熱體使用半性材料，維修保養費用低，運行穩定； 6、無接觸氣密封設計，齒輪傳動，耐用，間歇性蓄熱放熱，相對壽命長。高濃度廢氣處理實現自供熱燃燒,運行費用低,性價比合理。

蓄熱室系統選用高性能的規整蜂窩陶瓷，換熱效率高達95%及以上；系統設計緊湊集成度高，對場地面積要求低。PLC全自動化控制技術，配套可操作觸摸顯示屏，人機互動性提高的同時更保證了節能省力；燃料使用量小乃至于不需燃料；設有安全泄溫閥，當燃燒室溫超出設置限值時泄溫閥便開啟泄溫以確保安全溫度運轉；設有泄爆口，當出現燃燒室意外狀況，爐內壓力大幅度提升時泄爆口自動開啟，合理泄除壓力以確保不產生更大的不良后果；多重安全防護系統：非穩態控制、溫度監測系統、停機警報系統及故障應急預案措施等以保障蓄熱焚燒爐設備系統安全運行。其由2個或多個陶瓷填充蓄熱室，通過閥門的切換，改變氣流的方向, 從而達到預熱VOC廢氣的目的。安徽RTO爐

余熱利用,經濟效益高;多余的熱能回用至烘房、烤箱等，烘房的加熱不用額外消耗燃料或電能。廣東三箱式RTO爐

廢氣焚燒爐預熱區以預熱氣體為主，再進入燃燒室，為了提高廢氣氧化分解效率，提高預熱效果，有些焚燒爐生產廠家設計了兩種廢氣熱交換器，一是種熱交換器的溫度比第 二是種熱交換器的溫度低，在更J確的控制廢氣預熱溫度時，廢氣溫度更高，燃氣可以在第Y種熱交換器進入燃燒室，再生廢氣焚燒爐與直燃燃氣焚燒爐的Z大區別在于：直燃燃氣焚燒爐的煙氣預熱是通過熱交換器；再生廢氣焚燒爐的廢氣預熱是通過儲熱材料（大部分是蜂窩陶瓷），廢氣焚燒爐的預熱溫度較高。廣東三箱式RTO爐

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