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上海實(shí)驗(yàn)室增材制造工藝

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-09

雖然半導(dǎo)體行業(yè)一直在使用3D打印技術(shù),我們可能會(huì)有一個(gè)疑問(wèn),為什么我們沒(méi)有聽(tīng)說(shuō),一個(gè)因素是競(jìng)爭(zhēng)。如果全球只有四個(gè)龐大的大型公司,它們構(gòu)成了光刻或制造機(jī)器的主要部分,那么這些公司并沒(méi)有告訴外界關(guān)于他們應(yīng)用3D打印技術(shù)的內(nèi)幕,因?yàn)樗麄兿氪_保的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。至少,對(duì)外界揭示其優(yōu)化設(shè)備性能的技術(shù),這種主觀動(dòng)機(jī)并不強(qiáng)。增材制造改善半導(dǎo)體工藝是多方面的,從輕量化,到隨形冷卻,再到結(jié)構(gòu)一體化實(shí)現(xiàn),根據(jù)3D科學(xué)谷的市場(chǎng)觀察,增材制造使得半導(dǎo)體設(shè)備中的零件性能邁向了一個(gè)新的進(jìn)化時(shí)代!在許多情況下,3D打印-增材制造可能使這些系統(tǒng)能夠更接近理論上預(yù)期的工作環(huán)境,而不是在機(jī)器操作上做出妥協(xié)。3D打印帶來(lái)的直接好處包括更高的精度、更高的生產(chǎn)能力、更快的周期時(shí)間,甚至使得每臺(tái)機(jī)器每周生產(chǎn)更多的晶圓。某些情況下,還將看到整個(gè)晶片的成像質(zhì)量更高。這將意味著更少的浪費(fèi)和更高質(zhì)量的產(chǎn)品。Nanoscribe在中國(guó)的子公司納糯三維科技(上海)有限公司為您淺析增材制造技術(shù)在制造業(yè)中的特點(diǎn)與應(yīng)用。上海實(shí)驗(yàn)室增材制造工藝

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Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)具有極高設(shè)計(jì)自由度和超高精度的特點(diǎn),結(jié)合具備生物兼容特點(diǎn)的光敏樹(shù)脂和生物材料,開(kāi)發(fā)并制作真正意義上的高精度3D微納結(jié)構(gòu),適用于生命科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用,如設(shè)計(jì)和定制微型生物醫(yī)學(xué)設(shè)備的原型制作。布魯塞爾自由大學(xué)的光子學(xué)研究小組(B-PHOT)的科學(xué)家們正在通過(guò)使用Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)(2PP)將光波導(dǎo)漏斗3D打印到光纖末端上來(lái)攻克將具有不同模場(chǎng)幾何形狀的兩個(gè)元件之間的光束進(jìn)行高效和穩(wěn)健耦合這個(gè)難題。湖北微納米增材制造無(wú)掩膜激光直寫增材制造可實(shí)現(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)的快速制造。

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增材制造(AdditiveManufacturing,AM)俗稱3D打印,融合了計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)、材料加工與成型技術(shù)、以數(shù)字模型文件為基礎(chǔ),通過(guò)軟件與數(shù)控系統(tǒng)將專門使用的金屬材料、非金屬材料以及醫(yī)用生物材料,按照擠壓、燒結(jié)、熔融、光固化、噴射等方式逐層堆積,制造出實(shí)體物品的制造技術(shù)。相對(duì)于傳統(tǒng)的、對(duì)原材料去除-切削、組裝的加工模式不同,是一種“自下而上”通過(guò)材料累加的制造方法,從無(wú)到有。這使得過(guò)去受到傳統(tǒng)制造方式的約束,而無(wú)法實(shí)現(xiàn)的復(fù)雜結(jié)構(gòu)件制造變?yōu)榭赡?。近二十年?lái),AM技術(shù)取得了快速的發(fā)展,“快速原型制造(RapidPrototyping)”、“三維打印(3DPrinting)”、“實(shí)體自由制造(SolidFree-formFabrication)”之類各異的叫法分別從不同側(cè)面表達(dá)了這一技術(shù)的特點(diǎn)。

QuantumX新型超高速無(wú)掩模光刻技術(shù)的中心是Nanoscribe獨(dú)有的雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)。該技術(shù)將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結(jié)合,使其同時(shí)具備高速打印,完全設(shè)計(jì)自由度和超高精度的特點(diǎn)。從而滿足了高級(jí)復(fù)雜增材制造對(duì)于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設(shè)計(jì)迭代,打印樣品結(jié)構(gòu)既可以用作技術(shù)驗(yàn)證原型,也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具。另外,Nanoscribe雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)技術(shù)要點(diǎn),這項(xiàng)技術(shù)的關(guān)鍵是在高速掃描下使激光功率調(diào)制和動(dòng)態(tài)聚焦定位達(dá)到精細(xì)同步,這種智能方法能夠輕松控制每個(gè)掃描平面的體素大小,并在不影響速度的情況下,使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面。該技術(shù)將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性*結(jié)合,使其同時(shí)具備高速打印,完全設(shè)計(jì)自由度和超高精度的特點(diǎn)。從而滿足了高級(jí)復(fù)雜增材制造對(duì)于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求。如需了解增材制造技術(shù)的應(yīng)用場(chǎng)景請(qǐng)咨詢Nanoscribe在中國(guó)的子公司納糯三維科技(上海)有限公司。

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如今,金屬增材制造正在急劇地改變產(chǎn)品制造的方式。傳統(tǒng)的制造是將完整的金屬材料用數(shù)控機(jī)床來(lái)進(jìn)行減材加工,后續(xù)得到實(shí)體零件,其過(guò)程去除了大量的材料;而金屬增材制造是使用三維數(shù)字模型直接打印產(chǎn)品的一種生產(chǎn)方式,將金屬粉末材料,按照燒結(jié)、熔融、噴射等方式逐層堆積,制造出實(shí)體物品。增材制造與傳統(tǒng)制造有著巨大的不同,簡(jiǎn)化后的生產(chǎn)方式突破傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的限制,將生產(chǎn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)與優(yōu)化產(chǎn)品性能成為可能。這提升了廠家的生產(chǎn)彈性、縮短生產(chǎn)周期,并將真正的創(chuàng)新思維帶入產(chǎn)品之中。有了增材制造技術(shù),過(guò)去只存在于想象中、被視為不可能生產(chǎn)的各種產(chǎn)品,終于能夠被實(shí)現(xiàn)。增材制造技術(shù)可用于快速原型制造和生產(chǎn)。上海實(shí)驗(yàn)室增材制造工藝

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Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性,可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作,例如用光敏聚合物,納米顆粒復(fù)合物,或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人,并可以選擇添加金屬涂層。此外,微納米器件也可以直接打印在不同的基材上,甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級(jí)衍射光學(xué)元件(DOE),并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級(jí)。由于需要多次光刻,刻蝕和對(duì)準(zhǔn)工藝,衍射光學(xué)元件(DOE)的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長(zhǎng)且成本高。而利用增材制造即可簡(jiǎn)單一步實(shí)現(xiàn)多級(jí)衍射光學(xué)元件,可以直接作為原型使用,也可以作為批量生產(chǎn)母版工具。上海實(shí)驗(yàn)室增材制造工藝

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