主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動從功能上來區分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類。磁場探針臺主要用于半導體材料、微納米器件、磁性材料。云南智能探針臺生產廠家
手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時,可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術參數。云南智能探針臺生產廠家探針卡使用一段時間后,由于探針加工及使用過程中的微小差異導致所有探針不能在同一平面上會造成。
平面電機x-y步進工作臺:平面電機由定子和動子組成,它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。
在設備方面,生產半導體測試探針的相關設備價格較高,國內廠商沒有足夠的資金實力,采購日本廠商的設備。另一方面,對于半導體設備而言,產業鏈各個環節均會采購定制化的設備,客戶提出自身需求和配置,上游設備廠商通過與大型客戶合作開發,生產出經過優化的適合該客戶的設備。因此,即使國產探針廠商想采購日本設備廠商的專業設備,也只能得到標準化的產品。在原材料方面,國產材質、加工的刀具等也不能達到生產半導體測試探針的要求,同時日本廠商在半導體上游原材料方面占據的優勢,其提供給客戶的原材料也是分等級的,包括A級、B級、S級,需要依客戶的規模和情況而定。探針卡上有細小的金屬探針附著,通過降低探針高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤接觸。
探針卡沒焊到位,是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點區,而針虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩,所以焊針時,應憑自己的經驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點,焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。技術員平時焊完卡后應注意檢查探針卡的質量如何,把背面的突起物和焊錫線頭剪平,否則要扎傷AL層,造成短路或斷路,而操作工也應在測試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測大電流時,針尖上要引起多AL粉,使電流測不穩,所以需要經常用灑精清洗探針并用氮氣吹干,同時測試時邊測邊吹氮氣,以減少針尖上的AL粉。上海勤確科技有限公司需要的是客戶的滿意,而唯有雙贏,利益共享。黑龍江溫控探針臺多少錢
探針臺的維護與保養就顯得尤為重要。云南智能探針臺生產廠家
晶圓測試是在半導體器件制造過程中執行的一個步驟。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準備之前執行,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設備執行。晶圓測試過程可以通過多種方式進行引用:晶圓終端測試(WFT)、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的。晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。云南智能探針臺生產廠家