半導體生產過程中的探測,可略分為三大類:1.參數探測:提供制造期間的裝置特性測量;2.晶圓探測:當制造完成要進行封裝前,在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能;3.以探針臺為基礎的晶圓處理探測(FinalTest):在出貨給顧客前,對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后,即進入晶圓探測階段,此時需要用復雜的機器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應的晶圓后,探針臺會將晶圓向上挪動,使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,以進行探測。當測試完成,則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面,如此周而復始地循環著。平面電機應使用在環境溫度15~25℃,相對濕度小于50%的環境中。重慶自動探針臺
探針卡沒焊好:1.探針卡針焊得不到位;2.基板上銅箔剝落,針焊接不牢固,或焊錫沒有焊好而造成針虛焊;3.探針卡布線斷線或短路;背面有突起物,焊錫線頭針尖磨平:1.針在使用很長時間后尖正常損耗;2.操作工用過粗的砂子;3.砂針尖時用力過猛;4.砂得時間過長;針尖如磨平,使針尖偏離壓點,測試無法通過,針尖接觸面大,而接觸電阻大影響參數測試,所以平時如果在測片子之前,先拿上卡到顯微鏡下檢查針尖有否磨平,如已磨平應及時換針,操作工在砂針尖時注意技能,應輕輕打磨針尖,而不致于磨平針尖。青海智能探針臺公司上海勤確科技有限公司優良的服務隊伍、完善的服務網絡及強大的合作伙伴。
平面電機x-y步進工作臺:平面電機由定子和動子組成,它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。
探針測試臺x-y工作臺的分類:縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養不可一概而論,應區別對待。探針卡沒焊到位,是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點區。
探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環節的晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。半導體測試可以按生產流程可以分為三類:驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環節需要使用測試儀和探針臺,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現被測芯片與測試機的連接,通過探針臺和測試機的配合使用對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。測試信號的完整性需要高質量的探針接觸,這與接觸電阻(CRes)直接相關。河北探針臺公司
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探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環節,負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到器件制造的完成需經過復雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導體芯片的電參數、光參數的關鍵設備。經過檢測,探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。重慶自動探針臺