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在半導體制造工藝中微差壓表是必不可少

來源: 發(fā)布時間:2025-07-11

在半導體制造工藝中,環(huán)境與設備的精密管控直接關系到芯片良率與性能。山本,長野計器(NAGANO KEIKI)的微差壓表憑借百年計測技術積淀,為半導體行業(yè)提供高純度氣體監(jiān)測、潔凈室壓差管控等關鍵環(huán)節(jié)的精細解決方案,成為全球前沿晶圓廠和封測企業(yè)的優(yōu)先設備。

應用場景

1. 高純度氣體系統(tǒng)監(jiān)測

采用不銹鋼波登管與氬弧焊接工藝,確保微差壓表在腐蝕性氣體(如蝕刻用氟化氫、氨氣)和高純度惰性氣體(如氬氣、氮氣)環(huán)境中長期穩(wěn)定工作,避免泄漏,沉積、刻蝕等工藝的氣體流量精度。

2. 潔凈室與隔離室壓差管控


通過實時監(jiān)測潔凈室與外界環(huán)境的微壓差(±50Pa以內(nèi)),防止顆粒污染物侵入,滿足ISO 1-5級潔凈度要求,適用于光刻區(qū)、封裝無塵車間等敏感區(qū)域。

3. 關鍵設備狀態(tài)預警

集成于薄膜沉積設備、光刻機輔助系統(tǒng)中,監(jiān)測氣體過濾器堵塞或管道壓力波動,提前預警設備異常,減少非計劃停機損失。

技術優(yōu)勢

1. 嚴苛環(huán)境適應性:全不銹鋼結構(含外殼與連接部件)通過RoHS認證,耐腐蝕性遠超行業(yè)標準。

2. 精度與可靠性:嚴格的氣密性檢測與耐壓測試(符合SEMI標準),確保在恒壓或波動壓力下誤差率低于±1% FS

3. 定制化服務:支持甘油填充、衛(wèi)生型變送器集成等選項,適配半導體特殊工藝需求。

行業(yè)驗證

長野計器微差壓表已服務于中芯國ji、京東方等頭部企業(yè),并獲日本本土及國內(nèi)多地晶圓廠批量采購。其GV系列、GW系列產(chǎn)品在3D NAND存儲芯片制造與前沿封裝產(chǎn)線中表現(xiàn)好,助力客戶實現(xiàn)工藝良率提升與綜合成本優(yōu)化。

選擇山本,長野微差壓表,即是選擇百年品牌對精密與可靠的不懈追求——為半導體制造的每一帕斯卡壓力,提供值得信賴的。

另外,為了響應客戶的降本增效需求,要求我們對應國內(nèi)替代方案,我們花了兩年時間,經(jīng)過多次廠家研發(fā)成功了。現(xiàn)在可以為客戶做國內(nèi)替代品。質(zhì)量一樣,價格美麗!

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