亚洲精品无码一区二区三天美,成人性生交大片免费看网站毒液,极品人妻洗澡后被朋友玩,国模无码一区二区三区不卡

歡迎來到淘金地

整流二極管代工的基本生產工藝流程是怎樣的?

來源: 發布時間:2025-03-28

整流二極管的代工生產流程涉及多個關鍵工藝步驟,需在潔凈室環境下嚴格控制材料、摻雜、刻蝕等環節。以下是典型硅基整流二極管(如PN結二極管或肖特基二極管)的代工工藝流程及說明:



1. 襯底準備(Substrate Preparation)

- 材料選擇:  

 - 硅(Si):常用低阻N型或P型硅片(如〈100〉晶向)。  

 - 碳化硅(SiC):高壓/高溫應用需SiC襯底(如4H-SiC)。  

- 襯底處理:  

 - 清洗(RCA標準清洗)去除有機、金屬雜質。  

 - 外延生長(如N-外延層)以優化耐壓特性(高壓二極管需厚外延層)。




2. 摻雜形成PN結(Doping)

- 擴散法:  

 - 高溫擴散(如POCl?擴散磷形成N?區)或硼擴散(P?區)。  

 - 需精確控制結深(如3~10μm)和摻雜濃度。  

- 離子注入法:  

 - 更準確的摻雜控制(如注入硼/磷后高溫退火雜質)。  

 - 適用于肖特基二極管的歐姆接觸區制備。




3. 光刻與圖形化(Photolithography)

- 涂膠:旋涂光刻膠(如正膠AZ系列)。  

- 曝光:通過掩膜版(Mask)紫外曝光,定義PN結或電極區域。  

- 顯影:去除曝光/未曝光部分光刻膠,形成圖形化窗口。  

4. 刻蝕(Etching)

- 干法刻蝕:  

 - 反應離子刻蝕(RIE)刻蝕硅或外延層,形成臺面結構(Mesa)或隔離槽。  

- 濕法刻蝕:  

 - 使用KOH或HF溶液選擇性刻蝕,需控制各向異性。  


---


5. 金屬化與電極形成(Metallization)

- 肖特基二極管:  

 - 濺射或蒸鍍金屬(如Ti、Pt、Ni)形成肖特基勢壘。  

- PN結二極管:  

 - 沉積鋁(Al)或銅(Cu)作為陽極/陰極電極。  

- 合金化:高溫退火(400~450°C)改善歐姆接觸。  



6. 鈍化與保護(Passivation)

- 介質層沉積:  

 - PECVD生長SiO?或SiN?作為鈍化層,減少表面態漏電。  

- 開孔:光刻+刻蝕露出電極焊盤區域。  


---


7. 背面工藝(Backside Processing)

- 減薄:研磨或化學機械拋光(CMP)降低襯底厚度(高壓二極管需厚襯底)。  

- 背金屬化:蒸發/電鍍Au或Ag,增強陰極導電和散熱。  


---


8. 切割與封裝(Dicing & Packaging)

- 劃片:激光切割或刀片劃片將晶圓分割成單個芯片。  

- 封裝:  

 - 插件封裝:TO-220、DO-41等(陽極引線鍵合+環氧樹脂填充)。  

 - 表面貼裝:SMA、SMB等(焊料貼裝+塑封)。  


---


9. 測試與篩選(Testing)

- 電性測試:  

 - 反向擊穿電壓(VBR)、正向壓降(VF)、反向漏電流(IR)。  

- 可靠性測試:  

 - HTRB(高溫反向偏壓)、溫度循環(TCT)。  




關鍵工藝控制點

1. 摻雜均勻性:影響PN結的擊穿特性和漏電流。  

2. 結終端設計:場板/保護環降低邊緣電場集中。  

3. 表面鈍化質量:直接決定反向漏電和長期可靠性。  

4. 金屬-半導體接觸:肖特基二極管的勢壘高度需精確調控。  



通過以上流程,代工廠可生產不同規格的整流二極管,需根據客戶需求(電壓/電流等級、開關速度等)調整工藝參數。


公司信息

聯 系 人:

手機號:

電話:

郵箱:

網址:

地址:

本日新聞 本周新聞 本月新聞
返回頂部
主站蜘蛛池模板: 泽州县| 峨山| 治县。| 临夏县| 兴海县| 富锦市| 陈巴尔虎旗| 盐亭县| 亳州市| 德令哈市| 鄂伦春自治旗| 巴林左旗| 镇雄县| 定陶县| 杭州市| 新龙县| 突泉县| 洛川县| 博客| 福泉市| 晋宁县| 浦东新区| 邵武市| 遂昌县| 虎林市| 哈巴河县| 青阳县| 渭源县| 汉源县| 吴江市| 思南县| 永兴县| 石嘴山市| 承德市| 白山市| 来安县| 咸宁市| 太湖县| 惠东县| 长葛市| 城口县|