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單晶爐的氣氛控制系統有什么作用?

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無錫保利新能源設備制造有限公司2024-11-26

單晶爐的氣氛控制系統用于調節爐內氣體的種類、流量和壓力,以創造適合晶體生長的氣體環境。不同的半導體材料對氣體環境的要求不同,例如硅單晶生長時通常需要惰性氣體(如氬氣)作為保護氣,以防止熔融材料氧化。氣氛控制系統還能通過調節氣體成分和流量,影響晶體生長速率和晶體質量。

無錫保利新能源設備制造有限公司
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簡介:無錫保利新能源設備制造有限公司專注于制造新能源設備和半導體設備,以科技創新和客戶利益為價值觀。
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