輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸,典型結果包括:
表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)
幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)
白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統,通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀。
因此物鏡是輪廓儀****的部件,
物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。
不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦。
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用:
晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結構尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應的輪廓尺寸。 粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量。福建輪廓儀測樣
1)白光輪廓儀的典型應用:
對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
2)共聚焦顯微鏡方法
共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節,但是在共焦圖像中,通過多***盤的操作濾除模糊細節(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。
重慶輪廓儀國內用戶自動聚焦范圍 : ± 0.3mm。
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區別
關于輪廓儀和粗糙度儀
輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數。總之,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。
關于三坐標測量輪廓度及粗糙度
三坐標測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓 ,要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標測量機精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內,還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,因為它有龍門式三坐標和關節臂三坐標,而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。
輪廓儀的培訓
一、 培訓承諾
系統建成后,我公司將為業主提供為期1天的**培訓和技術資詢;培訓地點可以在我公司,亦或在工程現場;
系統操作及管理人員的培訓人數為10人,由業主指定,我公司將確保相關人員正確使用該系統;
1.1. 培訓對象
系統操作及管理人員(培訓對象須具有專業技術的技術人員或實際值班操作人員);
其他業主指定的相關人員。
1.2. 培訓內容
系統操作使用說明書。
培訓課程的主要內容是系統的操作、系統的相關參數設定和修改和系統的維修與保養與簡單升級等,具體內容如下:
* 系統文檔解讀;
* 系統的技術特點、安裝維護和系統管理方式;
* 系統一般故障排除。
LED光源通過多***盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。
輪廓儀的功能:
廓測量儀能夠對各種工件輪廓進行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數測量。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。
白光輪廓儀的典型應用:
對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
如果您想要了解更多的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通常可分為接觸時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。光刻機輪廓儀現場服務
輪廓儀廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。福建輪廓儀測樣
比較大視場Thefilm3D以10倍物鏡優異地提供更寛廣的2毫米視野,其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要,更進一步減少總體成本。手動式物鏡轉盤能一次搭載四組物鏡,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應用。索取技術資料索取報價性能規格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %電腦要求機械規格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機2592x1944(5百萬像素)系統尺寸,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見的選購配件:urionNano30主動式防震臺4微米,2微米,和100納米多臺階高度標準。福建輪廓儀測樣
岱美儀器技術服務(上海)有限公司是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司,致力于發展為創新務實、誠實可信的企業。岱美儀器技術服務深耕行業多年,始終以客戶的需求為向導,為客戶提供***的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務繼續堅定不移地走高質量發展道路,既要實現基本面穩定增長,又要聚焦關鍵領域,實現轉型再突破。岱美儀器技術服務始終關注儀器儀表市場,以敏銳的市場洞察力,實現與客戶的成長共贏。