x-y工作臺的維護與保養:無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在...
隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成...
光學平臺又稱光學桌面,供水平、穩定的臺面,一般平臺都需要進行隔振等措施,保證其不受外界因素干擾,使科學實驗正常進行。目前來說,有主動與被動兩大類。而被動又有橡膠與氣浮兩大類。固體阻尼隔震光學平臺和自動充氣平衡隔震光學平臺。光學平臺追求水平,首先加工的時候整個臺...
手動探針臺應用領域:Failure analysis集成電路失效分析;Wafer level reliability晶元可靠性認證;Device characterization元器件特性量測;Process modeling塑性過程測試(材料特性分析);IC...
滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養:由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指...
平面電機x-y步進工作臺:平面電機由定子和動子組成,它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而...
光學平臺很主要的一個目標是消除平臺上任意兩個以上部件之間的相對位移。大多數光學實驗都對系統穩定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導致儀器測量結果的不穩定性和不準確性,所以光學平臺顯得十分重要。光學平臺隔振原理:振動來源主要分為來自系統之外的振動和系統內部的振...
滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養:由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指...
振幅在數值上等于位移的大小。對于光學平臺系統,臺面受外力作用時,離開平衡位置的距離,同光學平臺系統的結構、受力大小、受力的位置、瞬時加速度、速度、持續時間、臺面的剛性、隔振系統的阻尼比等諸多因素有著非常復雜的非線性函數關系,如果標稱振幅的具體指標,需要注明上述...
固有頻率(Natural Frequency):平臺振動的周期或頻率與初始(或外界)條件無關,而只與系統的固有特性有關,稱為光學平臺的固有頻率或者固有周期。通常來說,固有頻率越低,系統的隔振性能就越強。外界振動同物體的固有頻率相同時,通常會引起共振,往往不是好...
以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態,測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件...
探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,...
x-y工作臺的維護與保養:無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在...
有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養:平面電機由定...
探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。當一個管芯(或管芯陣列)經過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可...
高性能密閉微暗室有效屏蔽:腔體采用導電的處理工藝,確保了各零件之間的導通狀態從而達到全屏蔽的效果,降低系統噪聲,有效屏蔽外界干擾,并提供低漏電流保護,為微弱電信號測試提供了合理的測試環境;同時也注意零件配合以及裝配的同時,保證內部的密封性。對于一些特殊的器件/...
表面粗糙度(Surface Roughness):有部分廠家,在光學平臺的指標中,標稱表面粗糙度的概念,往往存在一些誤導。國家標準GB/T3505-2000中規定了評定表面粗糙度的各種參數,其中常用的是輪廓算術平均偏差Ra。輪廓算術平均偏差Ra是指在取樣長度內...
光學平臺中的重復定位精度同精密位移臺中概念不同,光學平臺的重復定位精度,是指在空載和在一定條件下加上負載并去除負載,光學平臺穩定后的高度差。這個指標同負載的大小、加載的位置、加載時的速度、加速度、卸載時的速度、加速度等等指標有很大的關系,對于充氣式平臺,還有一...
對于平臺上的光學元件來說,平面度引起的高度差,通常可以忽略不計,若確有必要考慮高度差,則完全可以通過勤確精密調整的位移臺來實現。綜上所述,光學平臺的平面度,同光學平臺的隔振性能不相關,只能做為光學平臺的一個輔助指標,供參考。振動物體離開平衡位置的距離叫振動的振...
隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成...
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒...
手動探針臺的使用方式:待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋...
密封平臺顯微鏡設備用戶應采取接觸固定的方法并予以充分的保護,要確保加工面與玻璃的接觸面積大于5mm,而不應是所有光學平臺顯微鏡本身就不能再進行其他的玻璃保護處理。用戶一方面要保護好產品,一方面要保證安全拿人開刀才是很危險的事小尺寸全硬板狀的平板顯微鏡工作時應該...
高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關技術,這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對正系統(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非...
手動探針臺:普遍應用于,科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導體參數測試儀、示波器、網分等測試源表,量測半導體器件IV CV脈沖/動態...
光學平臺隔振腿除了支撐,主要作用是隔離來自地面的振動,隔振性能是其Z重要指標之一。其他性能還包括:各腿高度單獨調節,自動水平,載重能力,高度可選,有無磁性等等。光學平板按其結構可分為:實體光學平板和夾心光學平板兩種。實體光學平板主要是將實體材料進行機械加工而成...
高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關技術,這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對正系統(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非...
取樣長度若取0.25mm時,精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra>0.02~0.1μm;當取樣長度取0.8mm時,普通精加工表面Ra>0.1~2μm。根據上述說明,取樣長度為0.8mm,表面粗糙度為0.5~0.8μm時,表面加工精度屬于一般水平。勤確的光學平臺...
取樣長度若取0.25mm時,精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra>0.02~0.1μm;當取樣長度取0.8mm時,普通精加工表面Ra>0.1~2μm。根據上述說明,取樣長度為0.8mm,表面粗糙度為0.5~0.8μm時,表面加工精度屬于一般水平。勤確的光學平臺...