IQ Aligner UV-NIL 自動化紫外線納米壓印光刻系統 應用:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統 IQ Aligner UV-NIL系統允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝,非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡。該系統從從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始,提供了混合和整體式微透鏡成型工藝,可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應。此外,EV Group提供合格的微透鏡成型工藝,包括所有相關的材料專業知識。EV Group專有的卡盤設計可為高產量大面積印刷提供均勻的接觸力。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋...
UV-NIL / SmartNIL 納米壓印系統 EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻(UV-NIL)提供完整的產品線,包括不同的單步壓印系統,大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復系統。除了柔軟的UV-NIL,EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多種用途的聚合物印模技術。高 效,強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,高度均勻的圖案層和**少的殘留層,并具有易于調整的晶圓尺寸和產量。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期承諾,即納米壓印是一種用于大規模生產微米和納米級結構的高性能,低成本和具有批量生產能力的技術。 這個系列的型號包括:EV...
納米壓印設備哪個好?預墨印章用于將材料以明顯的圖案轉移到基材上。該技術用于表面化學的局部修飾或捕獲分子在生物傳感器制造中的精確放置。 納米壓印設備可以進行熱壓花、加壓加熱、印章、聚合物、基板、附加沖壓成型脫模。 將聚合物片或旋涂聚合物加熱到其玻璃化轉變溫度以上,從而將材料轉變為粘性狀態。然后以足夠的力將壓模壓入聚合物中。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。 EVG的納米壓印設備已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為第三代(550 mm x 650 mm)的基板上實現。四川晶片納米壓印 EVG ? 72...
該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據客戶的專門需求,公司對這些聚合物作出調整,使其具備其它特征。它們極其適合工業環境,在較短的生產周期時間內粘合各種微小的元件。此外,DELO紫外線LED固化設備與點膠閥的可靠度十分杰出。關于德路德路(DELO)是世界前列的工業粘合劑制造商,總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國、中國、新加坡及日本均設有子公司。2019財政年,公司的780名員工創造了。該公司產品在全球范圍內廣泛應用于汽車、消費類電子產品與工業電子產品。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產品。DELO的客戶包括博世、戴姆勒、華為、歐司朗、西門子以及索尼等...
納米壓印光刻(NIL) -SmartNIL ? 用于大批量生產的大面積軟UV納米壓印光刻工藝 介紹: EVG是納米壓印光刻(NIL)的市場**設備供應商。EVG開拓了這種非常規光刻技術多年,掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量生產。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究,開發和現場經驗進行了優化,以解決常規光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結果。 如果要獲得詳細信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司或者訪問官網。 EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,因為它以**小的占位面...
納米壓印應用二:面板尺寸的大面積納米壓印 EVG專有的且經過大量證明的SmartNIL技術的***進展,已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為Gen 3(550 mm x 650 mm)的基板上實現。對于不能減小尺寸的顯示器,線柵偏振器,生物技術和光子元件等應用,至關重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經濟、高 效的方法,因為它不受光學系統的限制,并且可以為**小的結構提供比較好的圖案保真度。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。 EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻(UV...
面板廠為補償較低的開口率,多運用在背光模塊搭載較多LED的技術,但此作法的缺點是用電量較高。若運用NIL制程,可確保適當的開口率,降低用電量。利用一般曝光設備也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光設備一次可形成的圖樣面積較小。若要制造55吋面板,需要經過數十次的曝光制程。不僅制程時間長,經過多次曝光后,在圖樣間會形成細微的縫隙,無法完整顯示影像。若將NIL技術應用在5代設備,可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜圖樣。在8代基板可制造6片55吋面板,6次的壓印接觸可處理完1片8代基板。南韓業者表示,在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質量的生產制程,是LCD領域中***一個創新任務。若加速NI...
納米壓印光刻(NIL)技術 EVG是納米壓印光刻(NIL)設備和集成工藝的市場**供應商。EVG從19年前的研究方法中率先并掌握了NIL,并實現了從2英寸化合物半導體晶圓到300 mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產。NIL是產生納米尺度分辨率圖案的**有前途且相當有成本效益的工藝,可用于生物MEMS,微流體,電子學以及**近各種衍射光學元件的各種商業應用。 其中EVG紫外光納米壓印系統型號包含: EVG?610 EVG?620NT EVG?6200NT EVG?720 EVG?7200 EVG?7200LA HERCUL...
SmartNIL是行業**的NIL技術,可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現****的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術。 *分辨率取決于過程和模板 如果需要詳細的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 EVG的熱壓印是一種經濟高 效且靈活的制造技術,具有非常高的復制精度,可用于**小50 nm的特征尺寸。安徽納米壓印...
EVG ? 510 HE特征: 用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用 自動化壓花工藝 EVG專有的**對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印 完全由軟件控制的流程執行 閉環冷卻水供應選項 外部浮雕和冷卻站 EVG ? 510 HE技術數據: 加熱器尺寸:150毫米 ,200毫米 比較大基板尺寸:150毫米,200毫米 **小基板尺寸:單芯片,100毫米 比較大接觸力:10、20、60 kN 比較高溫度:標準:350°C;可選:550°C 夾盤系統/對準系統 150毫米加熱器:EVG ? 610,EVG ...
納米壓印光刻(NIL)技術 EVG是納米壓印光刻(NIL)設備和集成工藝的市場**供應商。EVG從19年前的研究方法中率先并掌握了NIL,并實現了從2英寸化合物半導體晶圓到300 mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產。NIL是產生納米尺度分辨率圖案的**有前途且相當有成本效益的工藝,可用于生物MEMS,微流體,電子學以及**近各種衍射光學元件的各種商業應用。 其中EVG紫外光納米壓印系統型號包含: EVG?610 EVG?620NT EVG?6200NT EVG?720 EVG?7200 EVG?7200LA HERCUL...
為了優化工藝鏈,HERCULES NIL中包括多次使用的軟印章的制造,這是大批量生產的基石,不需要額外的壓印印章制造設備。作為一項特殊功能,該工具可以升級為具有ISO 3 *功能的微型環境,以確保比較低的缺 陷率和比較高質量的原版復制。 通過為大批量生產提供完整的NIL解決方案,HERCULES NIL增強了EVG在***積NIL設備解決方案中的領導地位。 *根據ISO 14644 HERCULES ? NIL特征: 批量生產**小40 nm *或更小的結構 聯合預處理(清潔/涂層/烘烤/寒意)和SmartNIL ? 體積驗證的壓印技術,具有出色的...
HERCULES?NIL:完全集成的納米壓印光刻解決方案,可實現300 mm的大批量生產 ■批量生產低至40 nm的結構或更小尺寸(分辨率取決于過程和模板) ■結合了預處理(清潔/涂布/烘烤/冷卻)和SmartNIL?技術 ■全自動壓印和受控的低力分離,可很大程度地重復使用工作印章 ■具備工作印章制造能力 EVG?770:連續重復的納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作 ■用于晶圓級光學器件的微透鏡的高 效母模制造,直至SmartNIL?的納米結構 ■不同類型的母版的簡單實現 ■可變的光刻膠分配模式 ■分配,壓印和脫模過程中...
EVG ? 7200 LA特征: 專有SmartNIL ?技術,提供了****的印跡形大面積 經過驗證的技術,具有出色的復制保真度和均勻性 多次使用的聚合物工作印模技術可延長母版使用壽命并節省大量成本 強大且精確可控的處理 與所有市售的壓印材料兼容 EVG ? 7200 LA技術數據: 晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(比較大Gen3)(550 x 650毫米) 解析度:40 nm-10 μm(分辨率取決于模板和工藝) 支持流程:SmartNIL ? 曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm2) 對準:可選的...
EVG ? 7200 LA大面積SmartNIL ? UV納米壓印光刻系統 用于大面積****的共形納米壓印光刻。 EVG7200大面積UV納米壓印系統使用EVG專有且經過量證明的SmartNIL技術,將納米壓印光刻(NIL)縮放為第三代(550 mm x 650 mm)面板尺寸的基板。對于不能減小尺寸的顯示器,線柵偏振器,生物技術和光子元件等應用,至關重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經濟有效的方法,因為它不受光學系統的限制,并且可以為**小的結構提供比較好的圖案保真度。 SmartNIL利用非常強大且可控的加工...
該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據客戶的專門需求,公司對這些聚合物作出調整,使其具備其它特征。它們極其適合工業環境,在較短的生產周期時間內粘合各種微小的元件。此外,DELO紫外線LED固化設備與點膠閥的可靠度十分杰出。關于德路德路(DELO)是世界前列的工業粘合劑制造商,總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國、中國、新加坡及日本均設有子公司。2019財政年,公司的780名員工創造了。該公司產品在全球范圍內廣泛應用于汽車、消費類電子產品與工業電子產品。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產品。DELO的客戶包括博世、戴姆勒、華為、歐司朗、西門子以及索尼等...
其中包括家用電器、醫藥、電子、光學、生命科學、汽車和航空業。肖特在全球34個國家和地區設有生產基地和銷售辦事處。公司目前擁有員工超過15500名,2017/2018財年的銷售額為??偛课挥诘聡酪虼牡哪腹維CHOTTAG由卡爾蔡司基金會(CarlZeissFoundation)全資擁有。卡爾蔡司基金會是德國歷史**悠久的私立基金會之一,同時也是德國規模比較大的科學促進基金會之一。作為一家基金公司,肖特對其員工,社會和環境負有特殊責任。關于EV集團(EVG)EV集團(EVG)是為半導體、微機電系統(MEMS)、化合物半導體、功率器件和納米技術器件制造提供設備與工藝解決方案的**供應商。其...
EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV納米壓印光刻系統。 用UV納米壓印能力設有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統?技術范圍達150m。這些系統以其自動化的靈活性和可靠性而著稱,以**小的占地面積提供了** 新的掩模對準技術。操作員友好型軟件,**短的掩模和工具更換時間以及高 效的全球服務和支持使它們成為任何研發環境(半自動批量生產)的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻。此外,半自動和全自動系統配置均支持EVG專有的Sm...
IQ Aligner UV-NIL 自動化紫外線納米壓印光刻系統 應用:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統 IQ Aligner UV-NIL系統允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝,非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡。該系統從從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始,提供了混合和整體式微透鏡成型工藝,可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應。此外,EV Group提供合格的微透鏡成型工藝,包括所有相關的材料專業知識。EV Group專有的卡盤設計可為高產量大面積印刷提供均勻的接觸力。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋...
HERCULES ? NIL特征: 全自動UV-NIL壓印和低力剝離 **多300毫米的基材 完全模塊化的平臺,具有多達八個可交換過程模塊(壓印和預處理) 200毫米/ 300毫米橋接工具能力 全區域烙印覆蓋 批量生產**小40 nm或更小的結構 支持各種結構尺寸和形狀,包括3D 適用于高地形(粗糙)表面 *分辨率取決于過程和模板 HERCULES ? NIL技術數據: 晶圓直徑(基板尺寸):100至200毫米/ 200和300毫米 解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝) 支持流程:SmartNIL ...
SmartNIL是行業**的NIL技術,可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現****的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術。 *分辨率取決于過程和模板 如果需要詳細的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 EVG開拓了這種非常規光刻技術,擁有多年技術,掌握了NIL,并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量生產。浙江三星納米...
IQ Aligner UV-NIL特征: 用于光學元件的微成型應用 用于全場納米壓印應用 三個**控制的Z軸,可在印模和基材之間實現出色的楔形補償 三個**控制的Z軸,用于壓印抗蝕劑的總厚度變化(TTV)控制 利用柔軟的印章進行柔軟的UV-NIL工藝 EVG專有的全自動浮雕功能 抵抗分配站集成 粘合對準和紫外線粘合功能 IQ Aligner UV-NIL技術數據: 晶圓直徑(基板尺寸):150至300毫米 解析度:≤50 nm(分辨率取決于模板和工藝) 支持流程:柔軟的UV-NIL,鏡片成型 曝光...
為了優化工藝鏈,HERCULES NIL中包括多次使用的軟印章的制造,這是大批量生產的基石,不需要額外的壓印印章制造設備。作為一項特殊功能,該工具可以升級為具有ISO 3 *功能的微型環境,以確保比較低的缺 陷率和比較高質量的原版復制。 通過為大批量生產提供完整的NIL解決方案,HERCULES NIL增強了EVG在***積NIL設備解決方案中的領導地位。 *根據ISO 14644 HERCULES ? NIL特征: 批量生產**小40 nm *或更小的結構 聯合預處理(清潔/涂層/烘烤/寒意)和SmartNIL ? 體積驗證的壓印技術,具有出色的...
SmartNIL是一項關鍵的啟用技術,可用于顯示器,生物技術和光子應用中的許多新創新。例如,SmartNIL提供了****的全區域共形壓印,以便滿足面板基板上線柵偏振器的**重要標準。SmartNIL還非常適合對具有復雜納米結構的微流控芯片進行高精度圖案化,以支持下一代藥 物研究和醫學診斷設備的生產。此外,SmartNIL的***發展為制造具有比較高功能,**小外形尺寸和大體積創新型光子結構提供了更多的自由度,這對于實現衍射光學元件(DOE)至關重要。 特征: 體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度 專有SmartNIL ?技術,多使用聚合物印模技術 經過生產...
SmartNIL是一項關鍵的啟用技術,可用于顯示器,生物技術和光子應用中的許多新創新。例如,SmartNIL提供了****的全區域共形壓印,以便滿足面板基板上線柵偏振器的**重要標準。SmartNIL還非常適合對具有復雜納米結構的微流控芯片進行高精度圖案化,以支持下一代藥 物研究和醫學診斷設備的生產。此外,SmartNIL的***發展為制造具有比較高功能,**小外形尺寸和大體積創新型光子結構提供了更多的自由度,這對于實現衍射光學元件(DOE)至關重要。 特征: 體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度 專有SmartNIL ?技術,多使用聚合物印模技術 經過生產...